射频溅射论文

从粒子传输研究中的靶材溅射和中毒

一、从粒子输运研究靶的溅射与中毒（论文文献综述）陈昌隆[1]（2021）在《同质异构CrNx纳米结构涂层的力学性能研究》文中提出同质异构纳米多层涂层是一类有潜力同时兼具硬度和韧...