邻近效应论文

一种新型电子束曝光机中间图形及其数据格式

一、一种新的电子束曝光机中间图形及其数据格式（论文文献综述）郝慧娟[1]（2007）在《电子束光刻的三维加工和邻近效应校正技术研究》文中认为微机电系统器件的制造要求微三维加工工...