一、微制造平台的精密隔振系统研究（论文文献综述）
沈铖武[1]（2021）在《车载光电瞄准平台主动隔振关键技术研究》文中指出为保证车载导弹打击精度,在发射前,需要通过定向准直测量设备对弹上棱镜的方位角进行测量,从而确定导弹的初始发射方位角度。目前国产车载导弹配套的定向准直测量设备在使用过程中,测量设备必须放置在具有独立基座的光学测量平台上。独立基座与载车分离,以防止载车振动对定向准直测量设备的测量精度产生影响。设备的展开作业操作难度大、作业时间长,因此严重影响了装备的机动性能。随着装备现代化水平的发展,对定向准直测量设备进行隔振处理,从而使其能够摆脱对独立平台的依赖,实现与载车固连状态下的稳定测量,将极大地提高装备的自动化水平和快速反应能力。针对载车振动主要集中在低频段的特点,本文选择主动隔振方案,进行对载车振动的隔离研究,主要研究工作和研究成果如下:1.理论分析了振动对陀螺仪测量稳定性和自准直测量的影响,建立了单级主动隔振系统的动力学模型,确定了车载测量平台主动隔振系统的总体方案。2.采用经验模态分解法对载车振动的频谱特性进行分析。对经验模态分解过程中产生的模态混叠现象进行聚合经验模态分解,分解后模态混叠并未得到有效抑制。针对复杂信号的模态混叠现象,本文提出噪声延展聚合经验模态分解法,并应用该方法对载车振动进行分解,使分解过程中的模态混叠得到了有效抑制。3.通过运动方程建立了单级主动隔振系统的力传递率模型,通过理论建模和实验建模两种方式对VT-300电磁作动器静态特性和动态特性进行研究,建立该电磁作动器的输出信号与输入信号频率、幅值之间关系的数学模型。根据建立的模型,进行了模糊PID控制下的主动隔振效果仿真。4.设计了嵌入式信号采集与处理电路。采用TMS320VC33作为处理芯片,将A/D、D/A、I2C等数字接口电路都集成在一个高密度FPGA芯片内。通过直接存储器存取数据,使数据采集与数据处理同时进行,简化了电路,提高了系统集成度。5.完成主动隔振样机的制作,在实验室搭建模拟实验平台,开展实验验证。实验结果表明经过主动隔振后,传递到作动器输出端面的振动衰减了21.3d B,寻北仪的定向误差为138″,自准直仪的测量不受振动影响。本文通过数字化手段进行隔振控制,为实现定向准直测量设备与载车固连状态下的稳定工作提供了技术保障,使光电测量设备在保证测量精度的同时,摆脱了对独立支撑平台的依赖,提高了装备的机动性,对装备整体性能的提升起到了积极的推动作用。
康高轩[2]（2020）在《面向AMOLED生产线防微振基台的优化设计与应用》文中研究说明AMOLED显示屏技术以其逼真的画质、轻薄的尺寸、更加便携的用户体验感,极大提高了移动终端的便利性,使其成为智能设备面板中公认的领导者,终端设备行业发展的重要支柱。高精密AMOLED生产线设备和相关制成仪器设备对微振动隔离要求非常严格,必须考虑降低四周环境微振动。因此,工艺区间设备制程生产线防微振基台的安装非常有必要。本文结合昆山某光电有限公司在ARRAY车间新增曝光机的工程实例,采用理论分析、环境振动现场实测与有限元软件SAP2000建模相结合的方法,研究防微振基台动力特性分布规律,确保曝光机底部防微振基台符合防微振设计要求,满足曝光机设备正常运行条件,为同类工程提供微振基台结构设计依据以及数据支撑,本文主要研究内容包括:（1）对防微振基台进行总结分类,给出基台板耗能模式是通过自身的块体结构对称性、质量集中性、内陆多通性,利用等能量封闭体和路径屏障耗能实现减振作用,为同类型防微振基台结构设计提供理论支撑;（2）该项目开展了两次振动测试,第一次是设备安置前的振动测试,测得将基台直接放置在楼板上,即可满足设备运行要求。第二次测试是设备安置后测点振动水平,测得基台台面整体性好,满足设备正常运行条件,达到设计要求;（3）采用有限元SAP2000分析软件,建立有限元模型,由第四章防微振基台的动力参数进行模态优化设计可知,基台板的宽高比、框架内部形式、柱与基台板连接处约束方式以及柱截面尺寸等动力参数在所研究范围区间内均可提升防微振基台结构的竖向振动特性,提升防微振基台隔振性能。（4）以国机集团振动控制团队提供工程实例为基础,证明动力参数模态优化设计结论的可行性。
闫辉[3]（2020）在《高精度离心机基座基础减振隔振数值模拟研究》文中指出随着现代高精密仪器对测试精度的要求越来越高,场地微振动的防控成为目前亟待解决的问题。本文依托某精密仪器基座基础的减振隔振课题,以振动加速度作为控制指标,采用有限元软件ABAQUS对高精度离心机基座基础三维模型进行了合理的构建,分析了在拟定的场地微振动荷载下不同设计参数对离心机基座基础减振隔振效果的影响,供实际工程建设参考。本文主要研究内容与成果如下:1.通过对场地微振动作用下不同模型参数的计算结果进行频谱分析,发现以最大模型尺寸所得到的加速度有效值为准确值时,其余模型所产生的相对误差基本控制在5%以内;对本项目而言,圆形边界比方形边界更为合理,且计算结果偏保守;计算得到的加速度幅值和加速度有效值均随网格单元尺寸的减小而减小,并趋于稳定。2.改变基础埋深对减振效果的影响与地面和地下20m处同时加载的方式有关,在本文使用的场地微振动作用下,基础埋深8m时取得了最好的减振效果。3.空沟的隔振效果优于混凝土屏障;采用高强度等级的混凝土屏障并不会对隔振效果有明显的提升。4.在一定范围内增大屏障深度使得隔振效果总体上呈现提升的规律,增大屏障厚度可提高隔振效果。但随着屏障深度和厚度的不断增大,隔振效果不再出现明显的变化。5.在基础半径保持一致时,随着基础高度的增大,减振效果总体上向不断提升的趋势发展,且基础半径越大所表现的提升趋势越明显;在基础高度保持一致时,增大基础半径能有效提升减振效果,且基础越高随基础半径增大所提升的减振效果越明显;保持基础高度相同,同一质量下圆形基础的减振效果好于方形基础;不同基础形式的减振效果由好到差依次为:桩基础结合混凝土基础垫层、混凝土基础垫层、与混凝土垫层同体积的砂垫层。6.在“竖直屏障+基础深埋+混凝土基础平台+混凝土基础垫层+桩基础”的减振隔振系统作用下,与振源相比,离心机基座基础的加速度幅值得到了1～3个量级左右的衰减,加速度幅值谱的隆起频带为0Hz～10Hz,加速度最大幅值及加速度有效值均小于设计要求的“2.5×10-6g”。
周一恒[4]（2019）在《主被动结合磁悬浮隔振平台的基础研究》文中指出磁悬浮隔振平台是一种利用电磁力实现悬浮、运动和振动控制的电磁装置。与传统隔振装置相比,磁悬浮隔振平台具有无机械接触、无摩擦、无磨损、兼容真空环境等优点,在集成电路制造、航空航天、生物医学等现代精密、超精密装备领域具有广阔的应用前景,近年来受到了学术界和工业界的广泛关注。非接触式音圈电机和磁悬浮重力补偿器是磁悬浮隔振平台实现悬浮的关键装置。本文在总结国内外现有非接触式音圈电机和磁悬浮重力补偿器结构方案优缺点的基础上,提出了一种新型双曲线磁场音圈电机结构方案和一种新型菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器结构方案,来提高前者的推力性能和后者的悬浮力性能。因为由双曲线磁场音圈电机和菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器组成的磁悬浮隔振平台在运行时通过前者产生的主动控制力和后者产生的被动悬浮力来实现稳定悬浮,所以本文中将其命名为主被动结合磁悬浮隔振平台。本文以该平台及其核心装置双曲线磁场音圈电机和菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器为研究对象,通过理论分析、数值计算和实验研究,围绕数学建模、推力和悬浮力特性分析与优化、电磁设计等方面开展研究工作。本文首先介绍了所提出的主被动结合磁悬浮隔振平台及其核心装置双曲线磁场音圈电机和菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器的基本结构和运行原理,并建立了其数学模型。考虑到磁悬浮系统中运动部件与固定部件之间相对运动为六自由度运动,采用等效电流法、坐标变换法、洛伦兹力法推导了双曲线磁场音圈电机和菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器的磁场、力和力矩的表达式。此外,基于刚体力学建立了平台的动力学模型。上述工作为后续平台及其核心装置的特性分析、优化和电磁设计奠定了理论基础。为了提高系统性能,磁悬浮系统中的音圈电机和磁悬浮重力补偿器应分别具有较小的推力波动和悬浮力波动。因此,本文对音圈电机的推力特性和磁悬浮重力补偿器的悬浮力特性进行了分析与优化。在分析了磁场和多自由度运动对音圈电机推力和磁悬浮重力补偿器悬浮力影响的基础上,提出了一种基于双曲线磁场工作的音圈电机,旨在通过双曲线磁场来减小推力波动;提出了一种菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器,旨在通过该永磁体阵列结构来减小悬浮力波动和提高悬浮力密度。此外,分析了永磁体相对磁导率对磁悬浮重力补偿器悬浮力的影响和优化方法。本文还研究了双曲线磁场音圈电机和菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器的电磁设计方法。针对其应用领域,明确了双曲线磁场音圈电机和菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器的设计原则和设计流程。在前面建立的数学模型的基础上,推导了这两种装置的主要尺寸公式。总结了这两种装置的基本参数对其性能的影响规律,为双曲线磁场音圈电机和菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器的电磁设计提供了参考。在上述研究基础上,研制了主被动结合磁悬浮隔振平台及其核心装置双曲线磁场音圈电机和菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器样机。搭建测试平台进行了双曲线磁场音圈电机推力、菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器悬浮力的实验研究,以及主被动结合磁悬浮隔振平台的电磁力/力矩解耦、悬浮、六自由度位姿调整、直接扰动抑制和间接扰动抑制的实验研究,验证了上述理论分析的正确性。
丁基恒[5]（2019）在《精密隔振系统超低频测量与控制方法研究》文中指出精密隔振系统是超精密制造和测量装备稳定工作的根本保障。随着装备进入纳米/亚纳米精度,高性能环境振动隔离愈加重要,尤其迫切需要超低频的主动振动隔离技术。以加速度、绝对速度测量为代表的惯性传感器是实现主动振动隔离的关键器件,但是其低频测量带宽有限、信噪比差的问题给精密隔振系统超低频测量和控制提出了巨大的挑战,严重阻碍了隔振系统性能的进一步提高。本论文依托国家重大科研专项,从精密隔振系统的主被动组件特性建模与分析入手,着重研究采用绝对速度传感器的测量系统低频噪声与动态特性对主动控制性能的影响,旨在通过传感器特性补偿和控制算法设计,解决日益增长的环境微振动隔离需求与系统超低频测量和控制之间的矛盾,提高隔振系统性能,满足超精密制造和测量装备对工作环境稳定性的迫切需求。采用从组件级到系统级的分析思路,研究被动隔振结构到整机动力学特性,明确超低频测控需求。建立主动组件—地音传感器和平面电机执行器模型,根据测量需求设计针对地音传感器的零极点对消低频扩展一般原则。据此原则,着重分析带宽扩展实现过程中的噪声限制,确定采用模拟电路结合数字滤波器设计的带宽扩展方式,并建立传感器及其初级放大电路的输入噪声等效速度模型,为后续振动控制策略的研究与制定提供理论支撑。在精密隔振系统的超低频反馈控制器设计过程中,通过研究地音传感器低频动态对反馈控制稳定性的影响,以及低频噪声引起的控制器扰动,发现了传感器低频动态影响反馈控制稳定性的问题,进而提出针对反馈传感器的超低频带宽扩展策略,实现地音传感器的带宽截至频率从4.5Hz扩展至0.1Hz,而高频性能不损失。针对深度带宽扩展后噪声增加引起控制器低频扰动增加的问题,设计基于状态观测器的多传感器融合方法,并结合LQR最优调节器,降低低频噪声影响并改善隔振性能;在前馈控制器设计过程中,分析了传感器低频噪声导致的前馈控制器性能损失,提出针对前馈传感器的超低频带宽扩展策略,拓展带宽至0.3 Hz。据此带宽扩展策略,预测传感器系统模型和参数辨识误差对前馈性能的影响,提出固定极点自适应前馈算法,改善建模精度和稳定性,结合误差和参考信号功率谱整形等措施,进一步降低低频噪声的影响,改善算法低频段性能。设计精密隔振系统软件与硬件,搭建原理样机并测试了提出的超低频测量和控制方法的有效性。实验结果对比仿真分析具有较好的一致性:经过带宽扩展后传感器在超低频段保持了较准确的幅频响应特性和可以接受的噪声水平;反馈控制器在隔振系统固有频率处实现40dB振动衰减,而前馈控制在5Hz处进一步实现10dB的振动衰减;低频噪声在低频段没有引起明显的控制性能退化,验证了提出的超低频测量与控制方法的有效性。
邓超东[6]（2018）在《基于音圈电机的主动隔振平台设计》文中进行了进一步梳理由于加工和测量技术的不断提高,其对于仪器设备精度和稳定性的要求愈加严格。而限制这些仪器设备的精度和稳定性的最大因素则是来自环境的振动,尤其是其中的低频振动。针对这样的问题,论文中提出了一种基于音圈电机的主被动复合隔振系统。该隔振系统可以应用在超精密加工、测量领域以发挥仪器设备应有的优良性能。本文首先结合面电流法和镜像法推导永磁体气隙磁场的分布,建立了空气间隙当中的磁感应强度的解析计算公式。通过对算例Halbach阵列音圈电机的解析计算与ANSOFT的仿真数值对比验证了所推导公式的正确性。然后基于解析公式对音圈电机的磁轭厚度、气隙厚度、永磁体宽度三个尺寸参数进行设计,获得了合适的尺寸参数。改进设计后的音圈电机磁场分布和ANSOFT仿真结果比较,磁感应强度在整个计算区域内的误差都小于5%,力常数误差只有6.2%,验证了改进设计结果的正确性。然后本文通过对单自由度的被动隔振和主动隔振原理的分析,确定主动隔振和被动隔振的各自特点。分析主动控制选择不同反馈量所产生的隔振特性。在以上分析之上,设计了单一自由度基于音圈电机的主动隔振系统,并且通过仿真使得该隔振系统的性能得到验证。最后在单自由度隔振平台上进行实验验证,在1Hz处主动隔振开始起作用,在系统的共振频率处的主动隔振的衰减率可以达到-25dB以上,被动隔振条件下隔振台面的振动速度有效值为11.641μm/s,振动等级只能达到VC-C等级,而加入主动隔振之后振动速度有效值衰减为6.1794μm/s,振动等级可以提高到VC-D级别。本文最后设计了六自由度的基于音圈电机的主被动复合隔振系统。文中设计了被动隔振元件,设计驱动器并且测试其性能;分析了六自由度隔振平台的系统动力学,致动器动力学和传感器动力学,分析了耦合系统在模态空间的解耦;最后根据上述分析设计控制器并在多自由度隔振平台上进行相应实验,数据结果表明主动控制效果非常明显。加入主动隔振控制后,振动速度幅值有效值衰减到1.3451μm/s,衰减率为-14.2468dB;振动速度峰峰值可以衰减到8.3718μm/s,衰减率为-14.5161dB;振动等级可以由VC-C提高到VC-E等级。
吴文江[7]（2014）在《正负刚度并联精密主动隔振系统研究》文中认为精密主动隔振系统是超精密加工、制造与测量装备纳米级精度生成的必要保障之一。它通过隔离精密设备外部环境的振动,以解决影响超精密装备精度生成的微振动问题。随着超精密装备精度朝着纳米、甚至亚纳米的演进,对隔振系统的性能要求也愈加苛刻,进一步降低系统固有频率以及实现共振峰附近振动的高效隔离成为提升隔振系统性能的关键,同时也是当前精密隔振领域研究的热点与难点。本论文依托国家重大科研项目,面向重大工程的实际需求,针对精密主动隔振系统越来越高的隔振要求,从结构新构型和振动主动控制两方面入手,研究实现超低频隔振关键单元的隔振机理,以及多自由度隔振系统精密定位-高性能隔振复合振动主动控制策略,完成主动隔振系统样机的设计与应用,以进一步提升隔振系统的性能,使其满足超精密加工、制造与测量装备日益苛刻的性能要求。首先,本文分析了影响精密隔振系统性能的关键因素,提出了基于正负刚度并联的精密隔振新构型,解决了隔振系统为保障大承载力而难以实现超低频隔振的问题。研究了基于磁引力的负刚度磁弹簧,分析了其刚度非线性的影响因素,通过参数优化设计降低了刚度非线性度,为其在精密隔振系统中的应用提供了基础。提出了基于磁斥力的负刚度磁弹簧,通过曲线拟合获得了刚度的近似表达式,搭建了单自由度隔振实验装置,对磁斥力负刚度磁弹簧的可行性与有效性进行了验证。建立了正负刚度并联精密隔振系统单元级和系统级的数学模型,为控制策略的研究与制定提供了模型基础。然后,通过对振源特性和精密隔振系统自身隔振特性的分析,研究了正负刚度并联精密隔振系统的主动控制策略。提出了基于天棚阻尼的多自由度独立模态振动主动控制方法,解决了制约传统隔振系统低频振动传递率和高频振动衰减率不可兼得的矛盾。结合精密隔振系统精密定位-高性能隔振复合功能的需求,设计了位置控制器和多自由度模态解耦主动控制器,完成了隔振系统样机控制单元的硬件设计和软件设计。最后,构建隔振系统测试实验台对磁引力负刚度磁弹簧的有效性进行了验证,并对隔振系统性能进行了初步测试。测试结果表明,隔振系统实现了低至约1Hz的固有频率,振动传递率大于2Hz时小于-20dB（振动衰减了90%）,大于10Hz时小于-40dB（振动衰减了99%）。在实际工程应用中,将隔振系统样机应用于光刻机隔振机架,对隔振系统的时域和频域性能进行了最终测试,垂向精密定位精度为±4μm,共振峰传递率<0dB,隔振系统性能满足使用要求。实验结果表明,以正负刚度并联隔振新构型配合多自由度主动控制策略使得隔振系统具有极低的固有频率,保证隔振系统高频衰减率的同时降低了固有频率附近振动的传递,大大提高了隔振系统的有效隔振带宽。
王琪琳[8]（2013）在《磁悬浮主动精密隔振平台的控制研究》文中认为在超精密加工、测量以及航空航天设备环境干扰以及系统本身的动力系统,不可避免地会引起整个系统的振动,微幅、超微幅振动的影响变得十分突出,严重影响到加工精度和精密仪器的运行。隔振技术是抑制精密仪器振动的关键技术,分为主动和被动隔振两种。被动隔振结构简单,可靠性高而被广泛采用,然而其对低频及谐振附近干扰隔振能力差。主动隔振能有效解决这一问题。磁悬浮隔振器具有无接触、寿命长、响应快等优势,是一种较理想的主动隔振器。本文首先根据需要确定了合适结构和参数,设计了磁悬浮隔振器,将其与被动隔振系统组成了磁悬浮主动隔振系统,展开理论建模和仿真工作,取得的主要研究成果如下：（1）设计了一种磁悬浮主动精密隔振器,建立了磁悬浮隔振器的数学模型,利用ANSYS软件计算了磁悬浮隔振器电磁场的分布规律和电磁力大小,为进一步磁悬浮隔振器控制以及系统特性分析提供了理论依据。（2）将磁悬浮主动精密隔振器分别应用到单层单自由度、单层多自由度,双层隔振系统中,建立了磁悬浮主动单层单自由度、单层多自由度及双层精密隔振系统的动力学方程；选择适当的状态变量、输入量和以隔振对象输出加速度大小为输出量,推导了相应系统的状态方程,为下一步建立控制模型及仿真实验做准备。（3）提出了一种基于输出加速度响应最小的主动隔振控制策略,推导出最优反馈矩阵,建立了控制模型。将控制模型应用到磁悬浮单层单自由度精密隔振系统、磁悬浮单层多自由度精密隔振系统及磁悬浮双层精密隔振系统。仿真结果表明,磁悬浮精密主动隔振系统与被动隔振系统相比,隔振效果显着提高,尤其在谐振区附近磁悬浮主动精密隔振系统,具有很好的隔振效果。
董卡卡[9]（2011）在《隔振系统的测试、建模与参数辨识》文中指出随着光学仪器等超精密仪器的不断发展,外界微小的扰动已成为制约精密仪器设备特征尺寸不断减小的重要因素。针对超精密仪器设备隔振要求,本课题是在国家科技重大专项的框架范围内,研发具有高性能、超精密主动隔振系统。本文针对某型号超精密隔振系统,进行了相关的动力学测试、建模和参数辨识,为隔振系统的性能优化和主动控制提供理论依据和指导。在测试方案设计与分析部分,采用数学描述的方法分析介绍了几种典型的激振方式的特点和适用范围,结合隔振系统的结构特点,确定了隔振系统的激振方式;在传感器部分,介绍了位移传感器、速度传感器和加速度传感器的工作原理;在数据后处理部分,采用数学描述的方法详细介绍了窗函数和误差估计模型的特点和适用范围,并选取恰当的参数设置。最后,根据隔振系统的结构特点,制定了相应测试方案。在隔振系统动力学测试部分,进行了不同传感器对测试数据影响、不同测点对测试数据的影响的测试.通过比较分析,确定了在#2电机激励条件下,#2隔振器处的加速度传感器测试信号具有较高的研究价值。制定了隔振系统的动力学性能测试方案并进行了相关的测试分析。在隔振系统动力学建模与参数辨识部分,介绍了多体动力学的主要建模方法和刚体在空间中描述。根据单个隔振器的结构特点,简化了单个隔振系统的动力学模型;根据隔振系统的空间布置特点,采用牛顿-欧拉法建立了隔振系统的动力学模型,并推导出了特定点处的传递函数。结合测试数据,采用最小二乘法辨识出了隔振系统的刚度、阻尼等性能参数,为隔振系统的性能优化和主动控制提供了理论依据和指导。
李国平[10]（2010）在《面向精密仪器设备的主动隔振关键技术研究》文中研究表明本学位论文结合浙江省自然科学基金项目“精密设备系统主动隔振基础理论研究”（No.599085）进行精密仪器设备隔振平台振动主动控制理论与实验研究。针对项目的研究任务和国内外研究现状,采用理论研究、计算机仿真与实验研究相结合的研究方法,完成了精密仪器设备主动隔振系统的动力学分析,研制了用于该隔振系统的超磁致伸缩驱动器,对该隔振系统中的功率流传递特性进行了研究分析,然后采用免疫控制方法完成了精密仪器主动隔振系统的隔振器设计,搭建了主动隔振系统的模拟实验台,并进行了相关实验研究。第一章,阐述了本学位论文的研究背景与意义,分析了国内外主动隔振技术在隔振方案设计、驱动器与传感器、功率流传递特性和控制策略等方面的研究现状,提出了本论文的主要研究内容。第二章,以电镜类光学仪器为研究对象,建立了平台隔振形式的多自由度隔振系统的动力学模型。在研究典型一级主动、被动隔振系统的振动位移传递率的基础上,针对常用的二级主动隔振模型,考虑以不同参数作为反馈控制变量时,分析隔振系统在单坐标方向上的振动加速度传递率。第三章,在分析超磁致伸缩材料工作特性的基础上,研制了用于精密仪器主动隔振系统的超磁致伸缩驱动器,对超磁致伸缩驱动器的力和位移输出的静态特性和动态特性进行实验测试与分析,并建立了基于磁机耦合原理的驱动器磁滞非线性模型。第四章,建立了精密仪器主被动隔振平台系统的功率流传递模型,对于采用超磁致伸缩驱动器的隔振平台-基础主动隔振系统,采用四端参数法推导出隔振系统的功率流传递函数,对该函数进行数值仿真计算,详细分析了各控制器反馈参量对系统功率流传递特性的影响。第五章,根据人工免疫系统的思想设计出免疫反馈控制器,并将该控制器用于精密仪器的主动隔振系统中。针对精密仪器隔振平台的控制模型,在MATLAB环境中进行了对所设计的主动隔振系统的控制系统的抗干扰能力和时域性能等方面进行了研究。第六章,研制了以工业PC机为核心的精密仪器模拟隔振平台实验系统,完成了相应的软硬件系统开发,并对隔振实验台分别进行被动隔振、主被动复合隔振的实验研究。第七章,对论文的主要研究工作和创新点作了总结,并对未来的研究工作进行了展望。
二、微制造平台的精密隔振系统研究（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、微制造平台的精密隔振系统研究（论文提纲范文）
（1）车载光电瞄准平台主动隔振关键技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题研究背景 |
| 1.1.1 定向准直技术 |
| 1.1.2 隔振技术 |
| 1.2 国内外主动隔振技术研究与应用 |
| 1.2.1 主动隔振技术的研究 |
| 1.2.2 主动隔振技术的应用 |
| 1.3 论文研究工作的意义 |
| 1.4 论文主要研究内容及章节安排 |
| 第2章 车载平台主动隔振系统总体方案 |
| 2.1 车载平台振动影响分析 |
| 2.1.1 振动对陀螺仪的影响 |
| 2.1.2 振动对自准直测量的影响 |
| 2.2 车载平台主动隔振系统总体方案 |
| 2.2.1 单通道前馈控制 |
| 2.2.2 单通道反馈控制 |
| 2.2.3 基于前馈反馈的主动隔振系统方案 |
| 2.3 车载平台主动隔振关键技术 |
| 2.3.1 载车振动的频谱特性分析 |
| 2.3.2 作动器的特性分析及建模 |
| 2.3.3 控制器设计及控制方法研究 |
| 2.4 本章小结 |
| 第3章 车载平台振动频谱特性分析 |
| 3.1 常用的时频分析方法 |
| 3.2 经验模态分解的基本理论 |
| 3.3 模态混叠与聚合经验模态分解 |
| 3.4 噪声延展聚合经验模态分解的提出 |
| 3.5 载车振动频谱特性分析 |
| 3.6 本章小结 |
| 第4章 车载平台主动隔振系统建模 |
| 4.1 车载平台主动隔振系统动力学建模 |
| 4.2 VT-300 电磁作动器 |
| 4.3 VT-300 电磁作动器理论建模 |
| 4.4 VT-300 电磁作动器实验建模 |
| 4.4.1 滞回特性 |
| 4.4.2 动态特性 |
| 4.5 本章小结 |
| 第5章 主动隔振控制器设计与控制仿真 |
| 5.1 控制器功能需求 |
| 5.2 控制器设计 |
| 5.2.1 总体功能实现 |
| 5.2.2 加速度计信号调理 |
| 5.2.3 振动信号采样 |
| 5.2.4 驱动信号转换 |
| 5.2.5 驱动信号调理 |
| 5.2.6 数据处理 |
| 5.3 模糊PID控制方法研究 |
| 5.3.1 模糊PID控制 |
| 5.3.2 模糊PID控制仿真 |
| 5.4 本章小结 |
| 第6章 车载平台主动隔振系统实验 |
| 6.1 隔振效果评价方法 |
| 6.2 主动隔振系统实验平台构建 |
| 6.3 实验结果 |
| 6.3.1 主动隔振效果测试 |
| 6.3.2 定向准直测量测试 |
| 6.4 本章小结 |
| 第7章 总结与展望 |
| 7.1 完成的研究工作 |
| 7.2 取得的创新性成果 |
| 7.3 研究展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 |
（2）面向AMOLED生产线防微振基台的优化设计与应用（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 研究背景及意义 |
| 1.2 防微振基台系统概述 |
| 1.2.1 防微振基台定义 |
| 1.2.2 防微振基台分类 |
| 1.3 防微振基台国内外发展现状 |
| 1.3.1 国外发展现状 |
| 1.3.2 国内发展现状 |
| 1.4 技术路线 |
| 1.5 课题主要研究内容 |
| 第2章 防微振基台基本设计原理 |
| 2.1 防微振基台 |
| 2.1.1 基台描述 |
| 2.1.2 防微振基台隔振基本原理 |
| 2.2 防微振基台基本动力特性 |
| 2.3 防微振基台设计方案分析 |
| 2.3.1 经验设计方法 |
| 2.3.2 概念方案设计 |
| 2.3.3 数值模拟分析 |
| 2.4 防微振基台设计关键难点 |
| 2.4.1 固有频率 |
| 2.4.2 传递率分析 |
| 2.4.3 阻尼对隔振效率的影响 |
| 2.5 本章小结 |
| 第3章 防微振基台动力分析方法 |
| 3.1 防微振基台有限元数值模拟 |
| 3.1.1 有限元法介绍 |
| 3.1.2 有限元SAP2000介绍 |
| 3.1.3 结构模型 |
| 3.2 关键模拟方法 |
| 3.2.1 施加荷载工况 |
| 3.2.2 网格划分 |
| 3.3 结构模态分析 |
| 3.4 结构时程分析 |
| 3.5 评估标准 |
| 第4章 动力参数模态优化设计 |
| 4.1 模态优化设计 |
| 4.2 动力参数影响因素分析 |
| 4.2.1 宽高比参数分析 |
| 4.2.2 框架内部形式参数分析 |
| 4.2.3 柱与基台板处约束方式分析 |
| 4.2.4 柱截面尺寸对基台板影响分析 |
| 4.3 基台竖向模态频率对比分析 |
| 4.3.1 基台宽高尺寸竖向模态频率对比 |
| 4.3.2 基台结构形式竖向模态频率对比 |
| 4.3.3 基台约束方式竖向模态频率对比 |
| 4.3.4 基台截面尺寸竖向模态频率对比 |
| 4.4 本章小结 |
| 第5章 工程应用 |
| 5.1 工程背景 |
| 5.2 环境振动初期测试 |
| 5.2.1 测试依据 |
| 5.2.2 测试仪器 |
| 5.2.3 振动测试 |
| 5.2.4 初步结论 |
| 5.3 静力分析 |
| 5.3.1 分析软件 |
| 5.3.2 有限元模型 |
| 5.3.3 荷载 |
| 5.3.4 应力 |
| 5.3.5 变形 |
| 5.4 动力分析 |
| 5.4.1 模态分析 |
| 5.4.2 动力分析 |
| 5.4.3 结论 |
| 5.5 施工技术控点 |
| 5.5.1 钢平台工程技术控点 |
| 5.5.2 基台制作 |
| 5.5.3 基台现场吊装及安装 |
| 5.5.4 调平后验收测试 |
| 5.6 验收振动测试分析 |
| 5.6.1 测试方案 |
| 5.6.2 振动测试分析 |
| 5.6.3 结论 |
| 结论与展望 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 |
| 致谢 |
| 作者简介 |
（3）高精度离心机基座基础减振隔振数值模拟研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 研究背景 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.2.1 环境振动 |
| 1.2.2 屏障隔振 |
| 1.2.3 基础减振隔振 |
| 1.3 本文研究内容 |
| 第二章 场地微振动理论基础 |
| 2.1 场地微振动特点 |
| 2.1.1 随机平稳 |
| 2.1.2 强度分布特点 |
| 2.2 场地微振动波场特性 |
| 2.2.1 弹性介质中的波 |
| 2.2.2 波的传播与衰减 |
| 2.3 减振隔振理论 |
| 2.3.1 波的散射 |
| 2.3.2 波的衍射 |
| 2.3.3 屏障隔振机理 |
| 2.3.4 远场隔振与近场隔振 |
| 2.4 场地微振动强度评价方法 |
| 2.4.1 场地微振动评价指标 |
| 2.4.2 时域与频域的转换 |
| 2.4.3 频谱分析 |
| 2.5 小结 |
| 第三章 高精度离心机基座基础减振隔振数值模拟模型构建 |
| 3.1 场地勘察及初步设计方案 |
| 3.1.1 课题背景 |
| 3.1.2 场区工程地质条件 |
| 3.1.3 场地微振动测试 |
| 3.1.4 初步设计方案 |
| 3.2 土体本构模型基本参数 |
| 3.2.1 土层参数 |
| 3.2.2 黏弹性边界 |
| 3.2.3 单元类型 |
| 3.2.4 加载方式 |
| 3.3 瑞利阻尼的影响 |
| 3.3.1 瑞利阻尼的特点 |
| 3.3.2 瑞利阻尼系数的确定 |
| 3.4 模型尺寸 |
| 3.5 模型边界形状 |
| 3.6 模型网格单元尺寸 |
| 3.6.1 内部网格 |
| 3.6.2 外部网格 |
| 3.7 小结 |
| 第四章 高精度离心机基座基础减振隔振仿真分析 |
| 4.1 振源的确定及加载方式 |
| 4.1.1 场地微振动测试数据分析 |
| 4.1.2 模型振源加载方式 |
| 4.2 基础埋置深度的影响分析 |
| 4.2.1 基础埋置深度 |
| 4.2.2 频谱分析 |
| 4.3 屏障形式的影响分析 |
| 4.3.1 混凝土屏障参数 |
| 4.3.2 频谱分析 |
| 4.4 混凝土强度等级对屏障隔振效果的影响分析 |
| 4.4.1 混凝土强度等级参数 |
| 4.4.2 1/3 倍频程幅值谱 |
| 4.5 屏障尺寸的影响分析 |
| 4.5.1 屏障深度的影响 |
| 4.5.2 屏障厚度的影响 |
| 4.6 基础尺寸的影响分析 |
| 4.6.1 基础半径的影响 |
| 4.6.2 基础高度的影响 |
| 4.6.3 不同基础高度与半径的加速度有效值 |
| 4.7 基础形状的影响分析 |
| 4.8 基础形式的影响分析 |
| 4.8.1 有无混凝土基础垫层 |
| 4.8.2 砂垫层与混凝土垫层的减振效果比较 |
| 4.8.3 桩基础结合混凝土基础垫层 |
| 4.9 减振隔振效果分析 |
| 4.9.1 幅值谱对比分析 |
| 4.9.2 加速度有效值对比分析 |
| 4.10 小结 |
| 第五章 结论与建议 |
| 5.1 结论 |
| 5.2 建议 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 附录 |
（4）主被动结合磁悬浮隔振平台的基础研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 |
| 1.2 磁悬浮隔振平台关键技术的国内外研究现状 |
| 1.2.1 非接触式电磁作动器的研究现状 |
| 1.2.2 磁悬浮重力补偿器的研究现状 |
| 1.2.3 磁悬浮隔振平台关键技术分析 |
| 1.3 本文的主要研究内容 |
| 第2章 主被动结合磁悬浮隔振平台及其数学模型建立 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 主被动结合磁悬浮隔振平台的基本结构和运行原理 |
| 2.3 主被动结合磁悬浮隔振平台的数学模型 |
| 2.3.1 双曲线磁场音圈电机的数学模型 |
| 2.3.2 菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器的数学模型 |
| 2.3.3 主被动结合磁悬浮隔振平台的动力学模型 |
| 2.4 本章小结 |
| 第3章 音圈电机和磁悬浮重力补偿器的力特性分析 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 音圈电机的推力特性分析与优化 |
| 3.2.1 气隙磁场对音圈电机推力特性的影响 |
| 3.2.2 双曲线磁场音圈电机推力特性分析 |
| 3.3 磁悬浮重力补偿器的悬浮力特性分析与优化 |
| 3.3.1 悬浮力特性对隔振性能的影响 |
| 3.3.2 拓扑结构对磁悬浮重力补偿器悬浮力特性的影响 |
| 3.3.3 菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器悬浮力特性分析 |
| 3.3.4 永磁体相对磁导率对磁悬浮重力补偿器悬浮力特性的影响 |
| 3.4 本章小结 |
| 第4章 音圈电机和磁悬浮重力补偿器设计方法研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 双曲线磁场音圈电机的电磁设计方法 |
| 4.2.1 双曲线磁场音圈电机的设计原则与设计流程 |
| 4.2.2 双曲线磁场音圈电机的主要尺寸公式 |
| 4.2.3 双曲线磁场音圈电机的电磁设计 |
| 4.3 菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器的电磁设计方法 |
| 4.3.1 菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器的设计原则与设计流程 |
| 4.3.2 菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器的主要尺寸公式 |
| 4.3.3 菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器的电磁设计 |
| 4.4 本章小结 |
| 第5章 主被动结合磁悬浮隔振平台的实验研究 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 主被动结合磁悬浮隔振平台样机 |
| 5.3 音圈电机和磁悬浮重力补偿器的力特性实验 |
| 5.3.1 双曲线磁场音圈电机的推力特性实验 |
| 5.3.2 菱形永磁体阵列磁悬浮重力补偿器的悬浮力特性实验 |
| 5.4 主被动结合磁悬浮隔振平台的系统实验 |
| 5.4.1 主被动结合磁悬浮隔振平台的控制器 |
| 5.4.2 主被动结合磁悬浮隔振平台的电磁力和力矩解耦实验 |
| 5.4.3 主被动结合磁悬浮隔振平台悬浮和六自由度位姿调整实验 |
| 5.4.4 主被动结合磁悬浮隔振平台的隔振实验 |
| 5.5 主被动结合磁悬浮隔振平台及其电磁部件性能分析 |
| 5.6 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 |
| 致谢 |
| 个人简历 |
（5）精密隔振系统超低频测量与控制方法研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 课题来源 |
| 1.2 课题背景与意义 |
| 1.3 国内外研究现状 |
| 1.4 本文的研究内容和创新点 |
| 1.5 本文的章节安排 |
| 2 精密隔振系统建模与低频噪声特性分析 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 隔振器结构组件建模 |
| 2.3 隔振系统整机动力学建模 |
| 2.4 主动隔振组件建模 |
| 2.5 系统噪声来源与低频特性分析 |
| 2.6 本章小结 |
| 3 反馈传感器超低频测量增强与反馈控制方法研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 模态解耦 |
| 3.3 反馈传感器超低频带宽补偿策略 |
| 3.4 多传感器融合的LQG超低频振动控制 |
| 3.5 本章小结 |
| 4 前馈传感器超低频测量增强与前馈控制方法研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 前馈传感器超低频带宽补偿策略 |
| 4.3 改进低频性能的自适应前馈控制 |
| 4.4 本章小结 |
| 5 精密隔振系统实现与超低频测量控制性能验证 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 原理样机搭建 |
| 5.3 超低频测量和控制性能验证 |
| 5.4 本章小结 |
| 6 总结与展望 |
| 6.1 全文总结 |
| 6.2 研究展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 附录1 攻读博士学位期间论文发表与专利申请 |
（6）基于音圈电机的主动隔振平台设计（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 课题研究背景和意义 |
| 1.2 课题来源 |
| 1.3 隔振技术研究现状 |
| 1.3.1 隔振技术的类型 |
| 1.3.2 主动隔振致动器发展现状 |
| 1.3.3 主动隔振控制策略研究现状 |
| 1.3.4 振动信号测量传感器研究现状 |
| 1.3.5 主动隔振产品现状 |
| 1.3.6 主动隔振技术国内外研究现状 |
| 1.4 论文的主要研究内容 |
| 第二章 电机磁场分析与计算 |
| 2.1 磁荷法 |
| 2.2 面电流法 |
| 2.2.1 Y方向磁化单一永磁体等效面电流磁场计算 |
| 2.2.2 X轴方向磁化单一永磁体等效面电流磁场分析 |
| 2.2.3 磁轭分析-镜像法 |
| 2.3 电枢反应磁场分析 |
| 2.4 电机磁场分析算例 |
| 2.5 本章小结 |
| 第三章 音圈电机设计 |
| 3.1 音圈电机的结构形式 |
| 3.2 音圈电机模型建立 |
| 3.3 音圈电机关键尺寸参数设计 |
| 3.3.1 设计目标和约束条件 |
| 3.3.2 主要结构参数的设计 |
| 3.3.3 设计结果的仿真验证 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 基于音圈电机的单自由度主动隔振系统研究 |
| 4.1 主被动隔振系统的工作原理 |
| 4.1.1 被动隔振系统的工作原理 |
| 4.1.2 主动隔振系统的工作原理 |
| 4.2 单自由度主动隔振系统设计 |
| 4.2.1 单自由度主动隔振系统结构设计 |
| 4.2.2 柔性铰链关键参数有限元仿真 |
| 4.3 单自由度主动隔振系统建模与隔振特性研究 |
| 4.3.1 单自由度主动隔振系统建模 |
| 4.3.2 采用不同反馈量的隔振特性研究 |
| 4.3.3 单自由主动隔振系统的主动控制仿真 |
| 4.4 单自由度柔性铰链主动隔振平台实验 |
| 4.4.1 实验室振动等级测量 |
| 4.4.2 单自由度柔性铰链主动隔振台固有频率测定 |
| 4.4.3 单自由度柔性铰链主动隔振系统辨识 |
| 4.4.4 单自由度柔性铰链主动隔振系统隔振实验 |
| 4.5 本章小结 |
| 第五章 基于音圈电机的多自由度主动隔振系统设计 |
| 5.1 被动隔振弹簧设计 |
| 5.2 音圈电机驱动器设计与测试 |
| 5.2.1 驱动器设计与元件选型 |
| 5.2.2 驱动器性能测试 |
| 5.3 主动隔振系统设计 |
| 5.3.1 底板与上板的设计 |
| 5.3.2 音圈电机的设计与组装 |
| 5.3.3 多自由度主动隔振台设计 |
| 5.4 多自由度主动隔振系统建模和动力学分析 |
| 5.4.1 被动隔振动系统动力学 |
| 5.4.2 致动器和传感器动力学分析 |
| 5.4.3 模态空间解耦 |
| 5.5 多自由度主动隔振系统实验 |
| 5.5.1 音圈电机性能测试 |
| 5.5.2 多自由度隔振平台固有频率测试 |
| 5.5.3 多自由度隔振平台主动隔振控制实验 |
| 5.6 本章小结 |
| 第六章 总结与展望 |
| 6.1 工作总结 |
| 6.2 工作展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 攻读学位期间的学术成果 |
（7）正负刚度并联精密主动隔振系统研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 课题来源、背景和意义 |
| 1.2 国内外隔振技术的研究现状 |
| 1.3 本文的主要研究内容 |
| 1.4 论文章节安排 |
| 2 负刚度原理及正负刚度并联隔振分析 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 机构式负刚度原理 |
| 2.3 永磁式负刚度原理 |
| 2.4 正负刚度并联隔振分析 |
| 2.5 本章小结 |
| 3 永磁式负刚度弹簧建模及刚度分析 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 永磁铁磁力建模与有限元分析 |
| 3.3 基于磁引力的负刚度弹簧建模与优化 |
| 3.4 基于磁斥力的负刚度弹簧建模与分析 |
| 3.5 磁斥力负刚度实验验证 |
| 3.6 本章小结 |
| 4 正负刚度并联精密隔振系统建模 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 正负刚度并联精密隔振器结构 |
| 4.3 精密隔振系统动力学建模 |
| 4.4 本章小结 |
| 5 精密隔振系统主动控制策略与控制器设计 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 精密定位控制 |
| 5.3 振动主动控制策略 |
| 5.4 控制系统硬件与软件设计 |
| 5.5 本章小结 |
| 6 正负刚度并联精密隔振系统实现与测试 |
| 6.1 引言 |
| 6.2 精密隔振系统样机实现与测试系统搭建 |
| 6.3 隔振系统样机调试实验 |
| 6.4 隔振系统样机集成联调与性能测试 |
| 6.5 本章小结 |
| 7 总结与展望 |
| 7.1 全文总结 |
| 7.2 研究展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 附录1 作者在攻读博士学位期间发表的学术论文 |
| 附录2 作者在攻读博士学位期间申请的专利 |
（8）磁悬浮主动精密隔振平台的控制研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 目录 |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 论文研究背景 |
| 1.2 论文的研究目的和意义 |
| 1.2.1 研究目的 |
| 1.2.2 研究意义 |
| 1.3 国内外研究现状 |
| 1.3.1 主动精密隔振研究发展现状 |
| 1.3.2 磁悬浮隔振研究发展现状 |
| 1.4 论文的主要工作与课题支撑 |
| 第2章 磁悬浮主动精密隔振技术及磁悬浮隔振器 |
| 2.1 磁悬浮主动精密隔振技术 |
| 2.1.1 磁悬浮支承技术 |
| 2.1.2 磁悬浮隔振技术 |
| 2.2 磁悬浮隔振器的设计 |
| 2.2.1 机械部分 |
| 2.2.2 控制部分 |
| 2.3 磁悬浮隔振器数学模型 |
| 2.3.1 磁悬浮隔振器的力学模型 |
| 2.3.2 磁悬浮隔振器的仿真分析 |
| 2.4 小结 |
| 第3章 磁悬浮主动精密隔振系统动力学特性 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 基本假设与系统坐标系 |
| 3.3 单自由度磁悬浮主动精密隔振系统 |
| 3.3.1 动力学与状态方程 |
| 3.3.2 系统可控可观性分析 |
| 3.4 多自由度磁悬浮主动精密隔振系统 |
| 3.4.1 系统模型 |
| 3.4.2 系统动力学方程和状态方程 |
| 3.5 双层磁悬浮主动精密隔振系统 |
| 3.5.1 系统模型 |
| 3.5.2 动力学模型和状态方程 |
| 3.6 本章小结 |
| 第4章 磁悬浮精密隔振系统的控制模型及仿真研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 磁悬浮精密隔振系统控制模型 |
| 4.3 控制系统设计及仿真 |
| 4.3.1 单自由度磁悬浮主动精密隔振系统仿真分析 |
| 4.3.2 多自由度磁悬浮主动精密隔振系统仿真分析 |
| 4.3.3 双层磁悬浮主动精密隔振系统仿真分析 |
| 4.4 本章小结 |
| 第5章 总结与展望 |
| 5.1 全文总结 |
| 5.2 研究展望 |
| 致谢 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 |
| 参考文献 |
（9）隔振系统的测试、建模与参数辨识（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 课题来源、目的及意义 |
| 1.2 国内外现状 |
| 1.3 课题研究内容 |
| 2 测试方案分析与设计 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 隔振器系统结构配置 |
| 2.3 隔振系统动力学性能测试指标 |
| 2.4 激振方式 |
| 2.5 传感器介绍 |
| 2.6 测试设备参数设置 |
| 2.7 测试方案设计 |
| 2.8 本章小结 |
| 3 隔振系统动力学测试 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 不同传感器对测试数据影响 |
| 3.3 不同测点对测试数据影响 |
| 3.4 隔振系统的性能测试 |
| 3.5 本章小结 |
| 4 隔振系统的动力学建模及参数辨识 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 空间刚体描述方法 |
| 4.3 隔振系统动力学等效模型 |
| 4.4 隔振系统的动力学建模 |
| 4.5 隔振系统参数辨识 |
| 4.6 本章小结 |
| 5 总结与展望 |
| 5.1 全文总结 |
| 5.2 展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 附录1 攻读学位期间发表学术论文目录. |
（10）面向精密仪器设备的主动隔振关键技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 致谢 |
| 1 绪论 |
| 1.1 论文研究的背景及意义 |
| 1.2 振动主动控制与主动隔振 |
| 1.2.1 振动主动控制技术 |
| 1.2.2 主动隔振技术 |
| 1.3 国内外主动隔振技术的研究现状 |
| 1.3.1 精密设备微幅隔振技术的研究 |
| 1.3.2 主动隔振技术中驱动器与传感器的研究 |
| 1.3.3 主动隔振技术中功率流传递特性的研究 |
| 1.3.4 主动隔振技术中控制策略的研究 |
| 1.4 论文的主要研究内容 |
| 2 精密仪器主动隔振系统的动力学分析 |
| 2.1 精密仪器的允许振动值与振动环境分析 |
| 2.1.1 精密仪器的允许振动值 |
| 2.1.2 电镜类光学仪器的工作原理及其振动激励环境的分析 |
| 2.2 精密仪器隔振系统的动力学方程 |
| 2.3 一级隔振系统主被动隔振传递率分析 |
| 2.3.1 被动隔振系统 |
| 2.3.2 主动隔振系统 |
| 2.4 二级主动隔振系统的振动传递率分析 |
| 2.4.1 主动隔振驱动器不同安装方式的动力学分析 |
| 2.4.2 不同参数作为控制变量时的振动传递率分析 |
| 2.4.3 加速度反馈时的振动传递率分析 |
| 2.5 本章小结 |
| 3 超磁致伸缩驱动器的输出特性与磁滞模型研究 |
| 3.1 磁致伸缩机理与超磁致伸缩材料的特性 |
| 3.2 超磁致伸缩驱动器的结构与磁路设计 |
| 3.2.1 超磁致伸缩驱动器的结构 |
| 3.2.2 相关磁路参数设计 |
| 3.3 超磁致伸缩驱动器热变形的抑制与补偿方法 |
| 3.3.1 恒温水冷却法 |
| 3.3.2 热变形抵消法 |
| 3.3.3 柔性铰链机构补偿法 |
| 3.3.4 软件补偿法 |
| 3.4 超磁致伸缩驱动器的静态特性测试 |
| 3.4.1 电流-输出位移特性 |
| 3.4.2 电流-输出力特性 |
| 3.5 超磁致伸缩驱动器的动态特性测试 |
| 3.5.1 动态位移输出特性 |
| 3.5.2 动态驱动力输出特性 |
| 3.5.3 滞后响应特性 |
| 3.6 超磁致伸缩驱动器磁机祸合模型的建立 |
| 3.6.1 磁致伸缩模型 |
| 3.6.2 磁化模型 |
| 3.6.3 磁机耦合模型 |
| 3.6.4 模型中各参数的确定 |
| 3.7 本章小结 |
| 4 精密仪器隔振系统中功率流的传递特性研究 |
| 4.1 隔振系统的功率流传递方程 |
| 4.2 隔振平台系统中功率流的传递模型 |
| 4.3 精密仪器隔振平台系统的导纳分析 |
| 4.3.1 隔振平台A导纳分析 |
| 4.3.2 中间质量C导纳分析 |
| 4.3.3 隔振元件B导纳分析 |
| 4.3.4 隔振元件D导纳分析 |
| 4.4 功率流传递特性的仿真计算及分析 |
| 4.4.1 隔振平台系统中功率流传递方程 |
| 4.4.2 计算模型及参数选择 |
| 4.4.3 相关计算结果 |
| 4.5 本章小结 |
| 5 精密仪器隔振系统的免疫控制研究 |
| 5.1 人工免疫系统的控制机理 |
| 5.1.1 生物免疫系统调节原理 |
| 5.1.2 人工免疫系统的反馈控制模型 |
| 5.2 精密仪器隔振平台控制系统的状态方程 |
| 5.3 免疫PID控制器的设计 |
| 5.4 隔振系统的免疫PID控制仿真研究 |
| 5.4.1 免疫控制器的S函数实现 |
| 5.4.2 隔振系统的Matlab仿真 |
| 5.5 本章小结 |
| 6 精密仪器模拟隔振平台的实验研究与分析 |
| 6.1 模拟隔振平台主动控制实验系统 |
| 6.1.1 模拟隔振实验台的结构设计 |
| 6.1.2 实验系统测控硬件设计 |
| 6.1.3 实验系统测控软件设计 |
| 6.2 模拟隔振平台振动控制实验研究 |
| 6.2.1 冲击激励隔振实验 |
| 6.2.2 正弦激励振动隔振实验 |
| 6.3 本章小结 |
| 7 结论与展望 |
| 7.1 主要工作与结论 |
| 7.2 研究展望 |
| 参考文献 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文和参加科研情况 |
| 1、发表的学术论文 |
| 2、参加的科研项目 |
四、微制造平台的精密隔振系统研究（论文参考文献）
- [1]车载光电瞄准平台主动隔振关键技术研究[D]. 沈铖武. 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2021(08)
- [2]面向AMOLED生产线防微振基台的优化设计与应用[D]. 康高轩. 河北工程大学, 2020(04)
- [3]高精度离心机基座基础减振隔振数值模拟研究[D]. 闫辉. 东南大学, 2020(01)
- [4]主被动结合磁悬浮隔振平台的基础研究[D]. 周一恒. 哈尔滨工业大学, 2019(01)
- [5]精密隔振系统超低频测量与控制方法研究[D]. 丁基恒. 华中科技大学, 2019
- [6]基于音圈电机的主动隔振平台设计[D]. 邓超东. 上海交通大学, 2018(01)
- [7]正负刚度并联精密主动隔振系统研究[D]. 吴文江. 华中科技大学, 2014(07)
- [8]磁悬浮主动精密隔振平台的控制研究[D]. 王琪琳. 武汉理工大学, 2013(S2)
- [9]隔振系统的测试、建模与参数辨识[D]. 董卡卡. 华中科技大学, 2011(07)
- [10]面向精密仪器设备的主动隔振关键技术研究[D]. 李国平. 浙江大学, 2010(08)