一、接触式测微仪测头动态性能分析（论文文献综述）
李毅[1]（2021）在《面向显微操作的并联微动平台的设计与研究》文中指出随着微/纳米技术的快速发展,微操作技术已经成为先进制造技术领域里的一个重要研究方向,在精密制造、生物医学工程、微机电系统（MEMS）、半导体加工、IC（集成电路）封装与引线键合等领域有着重要的研究价值和广阔的应用前景。针对现有的微动平台存在工作空间小,运动精度低等问题,本文以生物工程中对生物细胞的显微操作为工程应用背景,提出了一种新型的大行程高精度的3-PRC并联微动平台,对该平台进行构型设计与优化、运动学与误差分析、动力学特性分析和实验研究。首先,基于解耦的3-PRC并联机构,采用刚体替换法得到微动平台的初始构型,基于寄生运动互相抵消原理,通过将缺口型柔性铰链和簧片型柔性铰链结合的方式,对初始构型进行优化,提出一种新型的大行程高精度的3-PRC并联微动平台。其次,基于闭环矢量法建立该平台的运动学模型,得到运动学正解和反解,采用数值搜索法绘制出平台的可达工作空间。通过有限元仿真,对平台在不同的加载情况下的运动学进行验证,证明该平台具有良好的运动特性。然后,基于拉格朗日法和集中质量法,建立系统的动力学方程,采用机械无阻尼自由振动理论得到并联微动平台的一阶固有频率,利用有限元分析软件对平台进行约束模态仿真分析,得到该平台的前六阶振动频率,验证理论模型的正确性,避免并联微动平台在工作状态下发生共振。最后,加工样机,搭建实验平台,对平台的行程、不同加载情况下平台的耦合误差和动态性能分别进行了实验研究,实验证明该平台具有良好的线性输入-输出关系和近似解耦特性,能够实现大行程和微纳米级精度定位,满足显微操作的工程使用要求。
唐思源[2]（2021）在《超精密气浮垂直轴系统的设计与性能测试》文中研究说明配备垂直轴的超精密设备能够对复杂面形光学曲面、自由曲面模具及大型超精密光学零件进行加工与测量,超精密垂直轴可以拓展机床和测量仪的功能,提升超精密设备的加工能力和测量能力,是超精密机床和测量仪的重要组成部分,本文的主要研究内容如下:（1）设计了超精密气浮垂直轴系统,主要包括气体静压导轨、卸荷系统以及驱动控制系统。选择多孔质气浮轴承作为超精密垂直轴系统的支撑方式,研究分析了不同结构导轨的优缺点并最终采用了刚度高、可加工性和可装配性好的内滑块式的“U”型导轨结构。利用无摩擦气缸卸荷系统来对运动部分的重力进行补偿;构建以控制器、直线电机以及光栅尺等硬件组成的超精密气浮垂直轴系统全闭环控制系统;（2）建立了气体静压轴承的数学模型,通过FLUENT软件对气体静压轴承进行仿真分析,得到气体通过多孔质材料后的压力分布、速度分布,然后通过计算得到供气压力、气膜平均厚度以及溜板偏离中心位置对系统承载力和刚度的影响;对超精密气浮垂直轴系统进行刚度测试实验,验证了有限元分析中供气压力和轴承刚度关系的正确性;（3）对超精密气浮垂直轴系统进行了模态分析和热分析。建立了超精密气浮垂直轴系统的动力学数学模型,通过对系统进行模态分析,得到系统前六阶固有频率和模态振型图,验证了垂直轴系统动态特性够满足加工和测量要求;通过对系统进行热结构分析,得到了系统的温度分布和热变形云图,最大热变形量为0.11mm,得到了电机温升对导轨的影响规律;（4）分析了超精密气浮垂直轴系统的误差影响因素,对超精密气浮垂直轴系统的直线度进行了测量,水平放置时x、y方向直线度误差分别为0.355μm和0.691μm,竖直放置时x、y方向直线度误差为0.568μm和0.662μm;对控制器跟踪平滑步进轨迹和逐步定位进行了实验测试,得到了系统的位置稳定误差为±40nm,最小分辨率100nm,测量结果表明所研制的气浮垂直轴系统能够满足设计要求。
张铈岱[3]（2019）在《数控机床在机测量系统相关性误差实验平台的研制》文中研究说明数控机床在机测量系统能够在一台机床通过一次装夹完成大部分测量工作,被广泛地应用于生产中。其主要误差来源包括机床几何误差、光栅测量系统误差、测头系统误差、工件误差、测量策略误差、数据评定方法引起的误差。在机测量系统的误差并不是各误差元素的单纯线性相加,而是受不同被测对象、不同策略以及诸多影响因素共同作用下的误差动态性和相关性的影响。因此需要研制在机测量系统误差动态性、相关性的实验装置。现有实验装置无法满足开展相关性误差试验的需求,因此本文以堆栈式XY工作台为对象,研制了数控机床在机测量系统相关性误差实验平台。其目的是为了将XY工作台为理论样机,开展XY工作台床身热变形临界点和工作台瞬时运动中心理论的验证方法,最终将此研究结果应用到数控机床在机测量系统上。本文开展的主要工作如下:（1）确定试验台硬件、控制电路、测试系统的设计指标,规划各子系统的功能。设计XY工作台、大理石底座、温控罩的机械结构;设计热变形临界点和综合误差试验的测量夹具;设计控制系统实现伺服电机按要求运行、温控罩精确控温,设计测试系统的传感器电路并开发基于虚拟仪器的数据采集程序;运动控制卡预留脉冲信号输入接口,可实行误差的实时补偿。（2）对主要摩擦部件的发热量和对流换热进行理论计算,为有限元仿真分析的边界条件提供理论依据,使用ANSYS Workbench软件建立有限元模型,仿真分析滚动直线导轨副和丝杆螺母副的瞬态、稳态温度场分布。开展温度场测量试验,实现XY工作台温度场测量功能,其中丝杆螺母温升最大,温升约8℃。（3）开展实验装置性能试验,进行XY工作台高速、低速、正反向进给试验,满足最高20m/min和最低0.05m/min的正反向进给;在机床预热4h后,使用激光干涉仪测量X轴和Y轴在不同速度下的定位误差、俯仰角误差、偏摆角误差,验证工作台精度的稳定性和重复性。其中X轴最大重复定位误差为3.96μm;Y轴最大重复定位误差为1.56μm。
陈邦晟[4]（2019）在《数控机床在机测量系统综合误差补偿建模方法的研究》文中研究说明建立精确的数控机床在机测量系统综合误差模型是提高在机测量系统精度的基础。现有的在机测量系统误差模型对光栅系统热误差、导轨系统阿贝误差考虑不足,因此需要对光栅系统热误差进行进一步的研究。另外,该模型对阿贝臂的计算也不准确。为了考虑空间位置、速度与阿贝误差的相关性,需要在对工作台进行动力学分析的基础上,建立符合机床工作台实际运动状况的阿贝误差补偿模型。传统的基于多体系统的综合误差模型无法通过数控系统实现误差的补偿。为了使用数控机床的三轴联动实现误差的补偿,需要利用微分法对传统的误差模型进行修正。为了建立精确的光栅热误差补偿模型,本文依据形体热变形规律,提出了光栅热变形临界点理论,并使用该理论改进了光栅的固定方法,建立了光栅零点漂移误差与示值误差模型。为了对数控机床阿贝误差的变化规律进行分析,现以BV75数控机床为对象,详细分析了机床进给过程中工作台的运动状况,提出了瞬时运动中心的概念与确定方法,推导了基于瞬时运动中心的阿贝误差补偿模型。为了通过数控系统实现在机测量系统综合误差的补偿,先使用微分变换建立在机测量系统测头的位姿矩阵,再利用矩阵变换求解在机测量系统等效的几何误差,并使用雅可比矩阵构建三轴的误差补偿量与测头位姿的函数关系,最终计算出三轴的实际运动量。本文利用温控箱与电感测微仪进行了床身模型的热变形实验。实验结果表明,热变形临界点确实存在,仿真与实测的热变形临界点的位置相差2.5mm,由此引起的示值误差与零点漂移误差分别相差0.2μm、0.1μm,对定位误差的影响可以忽略不计,可以采用仿真的方法对热变形临界点进行求解。同时,使用了激光干涉仪、速度传感器等仪器,建立了测量瞬心与定位误差的实验装置,开展了不同速度下机床X方向瞬心的确定实验及定位误差补偿实验。实验的结果表明,不同速度下工作台瞬时运动中心的位置不同。相比较于传统方法的补偿结果,在几种移动速度下,经瞬时运动中心模型补偿后的定位误差减小至12μm。基于瞬时运动中心的阿贝误差建模能够实现更高精度的定位误差补偿。图[59]表[8]参[53]
刘敏[5]（2019）在《双向电感微位移传感技术研究》文中认为高精度电感位移传感器凭借其测量精度高、结构简单、线性度好等优势被广泛应用于精密零件尺寸与形位测量中。在以压缩机涡旋盘为代表的复杂沟槽、内腔等结构的精密测量中对电感位移传感器提出了双向测量与纳米分辨力要求。传统的旁向电感位移传感器测头测量精度已经可以达到纳米量级,但是大多数只能实现单向测量;在信号处理方面,开关式相敏检波方案中存在较大的高频噪声,数字相敏检波对控制时序要求严格,容易产生漂移;此外,环境温度变化使传感器测头产生温度漂移,是制约电感位移传感器精度提高的关键因素之一。本论文面向以涡旋盘为代表的复杂沟槽、内腔等结构的尺寸及形位精密测量的需求,提出了一种能兼顾纳米分辨力和一维双向测量的电感微位移传感器测头结构,设计并研制了高精度信号处理电路,设计了基于测头恒温控制的漂移抑制系统设计。论文主要工作如下:首先,提出了一种能兼顾双向测量与纳米分辨力的双向电感位移传感器测头结构。采用双片簧交叉柔性铰链作为传感器测头的弹性支撑元件,分析了铰链轴漂、迟滞等引起的测量误差。针对测头机械零件的加工误差、安装定位误差引起测量非线性问题,分析了加工误差和安装误差的非线性误差模型。针对环境温度波动对测头稳定性的影响,分析了测头机械结构热变形对测量结果的影响。其次,针对数字相敏检波对电路时序要求严格,容易产生非线性误差和漂移,常用的模拟相敏检波方法噪声较大等问题,设计了基于乘法器相敏检波的信号处理方案。采用电阻平衡臂电桥作为调制电路,减小了信号电路体积,提高了电路的抗干扰能力;通过乘法器相敏检波电路对调幅调制信号进行解调,有效地减小了开关信号引入的高频干扰,降低了对电路的时序要求,减小了信号处理电路的非线性;建立了信号处理电路的完整噪声模型,定量分析了电路参数对信号处理电路输出噪声的影响,根据噪声模型对电路主要参数进行了优化设计,减小了信号处理电路的噪声。针对电感位移传感器测头结构和信号处理电路存在的各种非线性误差,设计了补偿环节,减小了电感位移传感器测量结果的非线性。然后,针对传感器测头内部温度变化引起传感器输出信号漂移问题,设计了基于测头恒温控制的传感器漂移抑制系统。分析了传感器测头恒温控制系统的控制模型,通过系统辨识确定了其开环传递函数,根据辨识结果确定了PID控制器的主要参数。实验结果表明,测头恒温控制系统的温度稳定性优于0.1℃/1h,电感位移传感器输出信号的漂移由加入恒温控制系统前的80nm/30min提升到加入恒温控制系统后的40nm/1h。最后,搭建实验测试平台,对本论文研制的高精度双向电感位移传感器进行了实验测试。实验测试结果表明,传感器在±100μm量程内的测量分辨力为5nm,稳定性为40nm/1h,非线性为0.4%,测量重复性优于60nm,回程差小于50nm。本论文设计的双向电感位移传感器实现了双向测量与纳米分辨力。
张晏铭[6]（2019）在《超精密液体静压B轴转台设计及静动态特性分析》文中研究表明随着高新技术的发展,超精密加工技术和机床已越来越广泛地应用于国防工业和高端民用产业。利用了流体静压支撑原理和电机直驱技术的液体静压转台具有承载能力大和运动精度高等优点,其非常适用于超精密加工和检测设备。作为超精密机床的重要部件,液体静压转台的性能对于机床的精度和稳定性有着极其重要的影响,分析静压转台的静态和动态特性并设计制造出高刚度和高回转精度的静压转台具有十分重要的意义。本文首先根据液体静压转台的设计指标,完成了静压转台的结构配置和伺服系统的方案设计。编写了计算液体静压轴承承载力和刚度的软件,并利用软件确定了转台止推轴承和径向轴承的结构尺寸参数。根据粘性流体剪切力公式计算静压轴承的内摩擦力矩和平均温升,利用静力仿真初步确定转台的幅板尺寸,并完成静压转台装配体结构的三维模型。利用顺序耦合法和Workbench软件对静压转台的止推轴承和径向轴承进行流固耦合仿真。利用ICEM和Fluent软件实现静压轴承液压油流场的结构性网格划分和稳态分析;将流场的仿真结果导入Mechanical静力分析模块,得到了轴承结构在流场压力作用下的变形,并分析计算了结构变形后的轴承间隙和静压转台刚度的变化量。仿真分析了液体静压转台结构及其伺服系统的动态特性。通过模态分析得到静压转台的固有频率和振型,利用谐响应分析了在不同频率的载荷作用下转台结构的振动幅值。建立液体静压转台的闭环伺服系统模型,基于传统的PID控制原理设计了伺服系统的参数,并利用Simulink仿真分析了伺服系统的稳态误差和跟踪精度。在初步完成静压转台的加工和装配后,进行了液体静压转台的静态和结构动态特性的测量实验。利用逐步加载法和高精度电感测微仪测量静压转台的轴向刚度,利用动态信号分析系统测量静压转台结构的固有频率,并对比分析了仿真和实验的结果。最后,利用反转法和超精密标准球测量静压转台的跳动误差,并将被测件的形状和偏心误差从测量结果中分离。
王月皎[7]（2019）在《空气静压主轴组件测试实验台研制及回转误差分析》文中研究表明空气轴承在精密及超精密制造领域中应用广泛,其原因在于其精度高、低摩擦、污染小等特性。然而由于气体的可压缩性质所带来的稳定性问题以及空气静压轴承承载性能较低、刚度低的问题是空气静压主轴的主要问题。其中承载能力、气膜厚度、刚度,转速等参数成为影响轴系稳定性的关键要素。因此对于空气静压轴承的性能参数的测量对提高和改善轴承性能有重要意义。本文结合力学理论和流体力学知识,设计研制了 一台空气静压主轴性能测试实验台,能够在该实验台上对被测空气静压主轴提供测试手段,对被测空气静压主轴进行实验研究。首先本文对空气静压主轴组件测试实验台主体方案设计到载荷施加方式的确定再到各零部构件的设计与分析,根据空气静压主轴的综合性能,确定空气静压主轴的测量参数;根据需要测量的参数对测量仪器的型号进行选择。将设计完成的零件,按要求绘制图纸,按照图纸进行加工制造,对标准件进行采买,并对零件进行装配调试。实验台各部分运行完好顺畅且不出现冲突干涉现象,能够较好的遵循实验原则。其次根据空气静压主轴的综合性能,设计一种适当的测量方案对其进测量,能够同时测量测试在不同供气压力下的气浮主轴的承载性能以及主轴径向加载对回转精度的影响。根据设计的测量方案,对被测主轴进行了承载性能测试和回转精度的测试实验,测得不同供气压力下的被测气浮主轴止推盘的承载性能以及实验气浮主轴的回转精度;最后对在实验中产生的误差进行分析,有效的提高测量精度。通过实验可以看出,空气静压主轴的轴向承载性能随供气压力的增大而增大,该测试方案能够适用于测量空气静压主轴的轴向承载特性;被测实验主轴的轴向回转精度稳定在0.5μm左右,在低转速下径向回转精度为0.45μm。
陈登弟[8]（2019）在《弹性薄板空气静压止推轴承静动态性能实验研究》文中研究指明空气静压轴承是一种以高压空气作为工作介质的运动部件,其能实现高精度、低摩擦的运动,所以在一些需要高精度运动的加工设备及测量仪器中得到了广泛运用;在这些精密设备中,外部的振动以及自身的振动是影响设备运动精度的主要因素,而空气静压轴承是这些精密设备中承受运动载荷的主要零部件,更需要研究其在振动状态下的工作情况。因此为了研究空气静压轴承的实际运行特性,本文以一种新型的空气静压轴承为对象,通过实验的方式研究空气静压轴承的实际工作特性。为了通过实验的方式研究轴承的静动态性能,首先,本文对于国内外的空气静压轴承性能的理论及实验研究现状进行了总结;基于现有的研究成果,提出了轴承静态测试及动态测试的原理方案,并对测试方案进行了选择;在静态性能测试中以气缸加载方式施加静态载荷,测量轴承的静态承载性能及刚度;在动态测试中以激振器作为振源,并测量轴承在振动状态下的气膜间隙变化及动态载荷变化。其次,基于上述测试方案,设计了一种可以测试空气静压轴承静态性能及动态性能的测试实验台,并对此实验台的机械系统和测试控制系统进行了安装调试;为了验证实验台的可靠性,开展了初步的测试实验。测试结果表明,设计的实验台能满足测试实验的要求。为了完善弹性薄板空气静压止推轴承的制造工艺;本文采用真空钎焊的方法对轴承铝合金本体及不锈钢薄板开展了焊接实验,对于焊接的相关参数进行了选择,并开展了焊接工艺实验。其次,由于弹性薄板轴承表面存在弹性均压槽,利用旋转研磨装置及平面研磨机采用通气研磨的方式加工轴承支承表面,并测量了承载表面的平面度。结果表明:承载面的平面度符合实验测试的要求。基于搭建完成的实验台,以弹性薄板空气静压止推轴承为实验对象;在静态性能实验方面,给出了实验测试方法,对相同结构参数的刚性均压槽空气静压轴承和弹性薄板空气静压轴承进行了静态承载实验对比。结果表明:弹性薄板空气静压轴承的承载力虽然不及刚性均压槽轴承,但在一定的气膜间隙内,弹性薄板空气静压轴承的刚度大于传统的刚性均压槽轴承。在动态性能实验方面,以正弦激振作为外部激振源,通过测试系统采集实验数据,通过实验测试了轴承在不同频率外部振动下的运行情况;并利用最小二乘法,对测试系统采集的数据进行了分析,求解出了空气静压轴承的动特性系数。结果表明:在动态负载幅值相同的前提下,随着外部动态负载的频率的增加,轴承的动态刚度呈逐渐增加的趋势、轴承的阻尼系数呈逐渐减小的趋势;其次,测试了轴承在不同工况下的动特性。
刘彬[9]（2019）在《面向SEM的惯性粘滑驱动跨尺度精密运动平台研究》文中研究表明纳米技术是目前科技领域中的研究热点之一,在生物工程、显微操作领域、航空航天、光纤对接和精密定位等方面有着广泛的应用,对国民经济和科技的发展有着至关重要的作用。微驱动精密定位技术是纳米技术的重要组成部分,其发展水平制约着纳米技术的发展水平。目前微驱动精密定位技术具有纳米级定位精度,但是运动范围较小,难以在有限空间中实现高精度定位和较大的操作范围,这对微驱动精密定位技术提出了新的挑战与要求。本文在此基础上,研究将微驱动技术应用于SEM的自动化操作中,提出一种新型基于惯性粘滑驱动的跨尺度精密运动平台,并对其关键技术问题进行细致研究与分析。本文在国家自然科学基金青年基金项目“面向SEM的惯性粘滑驱动跨尺度精密运动机理和实现方法研究”（编号51505314）资助下,通过对目前国内外学者对惯性粘滑驱动技术的研究成果与SEM自动化操作技术中遇到的问题进行总结与分析,本课题将分别从织构化摩擦界面的摩擦机理、织构化摩擦界面对惯性粘滑运动的影响、惯性粘滑驱动样机结构设计和惯性粘滑驱动实验系统四个方面进行深入研究:首先,进行惯性粘滑驱动摩擦界面织构化的微观摩擦机理研究。详细阐述惯性粘滑驱动机理,分析在电信号激励下惯性块和滑块的运动状态,明确摩擦力对惯性粘滑驱动的重要性。由于织构的形貌参数属于微纳尺度,分别从范德华力、静电力和棘轮模型三个方面展开摩擦界面织构化的微观摩擦力学的研究,分析摩擦界面织构化对摩擦力的影响,对织构类型的设计提供理论基础。其次,研究织构化摩擦界面对惯性粘滑驱动的影响。优选出合适的微织构类型,简化织构三维形貌并建立其数学模型,以此为依据使用单因素实验法设计相关形貌参数。加工微织构试件并设计测试样机,搭建实验系统进行测试。测试不同参数的微织构对惯性粘滑驱动性能的影响,优选出最佳参数并分析其原因。接着,进行惯性粘滑驱动样机结构研究。为了实现SEM的自动化操作,样机需要满足体积小与灵活性的特点。本文选择使用无轨式结构设计方案,减小样机体积,使用两个压电陶瓷的配合实现双自由度灵活运动。建立运动学模型,探究倾覆力矩对惯性粘滑运动的影响。为了保证压电陶瓷输出位移与力的方向性,采用平行板柔性铰链作为传动机构。通过对样机的结构优化,确定最优方案,共设计出三款样机。最后,搭建惯性粘滑驱动测试系统。分别搭建静态和动态测试系统,对惯性粘滑驱动系统进行研究。测试倾覆力矩对惯性粘滑运动的影响,验证理论的正确性。对单自由度样机与双自由度样机进行性能测试,得到样机的运动速度、分辨率、步长重复性和旋转速度等重要参数,并将优化后的微织构试件在新样机上进行实验,再次验证表面微织构对惯性粘滑运动性能具有提升作用。
李莎[10]（2018）在《三维测头导向机构的精度分析与提高》文中研究表明三维扫描测头是坐标测量机、齿轮测量中心等精密量仪的重要组成部件,其测量精度对量仪的总体精度影响极大,而在决定三维测头测量精度的诸多因素中,其导向机构的精度又是最为关键的影响因素,因此对三维测头导向机构的导向精度进行深入研究具有较高的理论指导意义和工程应用价值。本文主要对三层楼式和并联式两种典型结构三维测头的导向精度进行了研究。对三层楼式结构中的平行簧片导向机构分别进行了理论分析和有限元仿真,研究了平行簧片导向机构的特征参数和应力、回复力及线性导向位移等之间的关系。分别建立了三层楼式测头和并联式测头的三维模型,为了在减小仿真计算量的同时,提高仿真结果的准确性及可信度,结合二者具体结构,在对模型进行适度简化后,还进行了网格划分的优化和检查评估。制定了导向机构线性度的仿真方案,对各个维度的线性度进行了有限元分析及数据处理。针对线性度仿真结果,除进行了各维度自身的线性拟合外,还分析了各维度之间的耦合作用,讨论了耦合作用的影响因素及其对测头精度的影响。借鉴ISO10360国际标准设计了三维测头导向机构空间探测误差的仿真方案:首先在虚拟标准球上选取42点并将各点的等模法向矢量作为测球运动输入量;然后进行各维度解耦机构的输出分量的分析计算;最后将所得各分量再次合成并进行高斯拟合求取导向机构空间探测误差。依据仿真结果对两种结构空间探测误差的影响因素进行了探讨。另外,还通过模态仿真分别对两种典型导向机构的动态特性进行了初步分析。本文研究结果表明:并联式导向机构单一维度线性度优于三层楼式导向机构;三层楼式导向机构各维度之间的耦合作用差异较大,其Z向对Y向的耦合尤为明显,在Y向满度时Z向耦合误差达到了10-1?m;空间探测精度方面,两种结构无明显差异,均优于1.1?m;从模态分析结果来看,三层楼式结构各维度动态性能差异较为明显,而并联式结构三个维度的动态特性则基本一致。两种导向机构精度受转矩影响大,故在进行测头导向机构的设计时,应提高机构抗扭转刚度及抗拉压刚度以提高机构精度。
二、接触式测微仪测头动态性能分析（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、接触式测微仪测头动态性能分析（论文提纲范文）
（1）面向显微操作的并联微动平台的设计与研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题研究背景及意义 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.2.1 微动平台的国外研究现状 |
| 1.2.2 微动平台的国内研究现状 |
| 1.3 并联微动平台的优点及应用 |
| 1.4 并联微动平台存在的问题 |
| 1.5 本文的主要研究内容 |
| 第2章 3-PRC并联微动平台构型设计与优化 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 显微操作的技术要求 |
| 2.3 材料的选择与加工方法 |
| 2.4 柔性铰链分析 |
| 2.4.1 柔性铰链的分类 |
| 2.4.2 刚度影响因素 |
| 2.5 构型设计与优化 |
| 2.5.1 构型选择 |
| 2.5.2 初始构型设计与有限元分析 |
| 2.5.3 优化后支链结构与寄生运动抵消原理 |
| 2.5.4 优化后构型与有限元分析 |
| 2.6 本章小结 |
| 第3章 并联微动平台的运动学与误差分析 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 并联微动平台的位置分析 |
| 3.2.1 运动学反解 |
| 3.2.2 运动学正解 |
| 3.3 工作空间分析 |
| 3.4 运动学有限元分析验证 |
| 3.5 并联微动平台的误差分析 |
| 3.5.1 原理误差 |
| 3.5.2 数学建模误差 |
| 3.5.3 加工装配误差 |
| 3.5.4 其他误差 |
| 3.6 本章小结 |
| 第4章 并联微动平台的动力学特性分析 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 拉格朗日法基础理论 |
| 4.3 系统动力学建模 |
| 4.3.1 支链的动能和势能分析 |
| 4.3.2 动平台的动能和势能分析 |
| 4.3.3 系统拉格朗日动力学方程 |
| 4.4 模态分析与有限元验证 |
| 4.4.1 平台的理论模态分析 |
| 4.4.2 平台的约束模态有限元分析验证 |
| 4.5 本章小结 |
| 第5章 并联微动平台的实验研究 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 实验系统的搭建 |
| 5.2.1 实验系统的控制原理 |
| 5.2.2 实验仪器的选型 |
| 5.2.3 实验平台的搭建 |
| 5.3 平台的行程测试 |
| 5.4 平台的解耦性测试 |
| 5.4.1 单支链加载测试及数据分析 |
| 5.4.2 两支链加载测试及数据分析 |
| 5.5 平台的动态性能测试 |
| 5.5.1 平台的位移分辨率测试 |
| 5.5.2 平台的动态响应测试 |
| 5.6 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
（2）超精密气浮垂直轴系统的设计与性能测试（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 课题研究背景及意义 |
| 1.2 超精密垂直轴系统的国内外研究现状 |
| 1.2.1 国外研究现状 |
| 1.2.2 国内研究现状 |
| 1.3 课题研究目标和主要研究内容 |
| 1.3.1 课题研究目标 |
| 1.3.2 主要研究内容 |
| 1.4 课题来源 |
| 1.5 本章小结 |
| 第二章 超精密气浮垂直轴系统的设计 |
| 2.1 超精密气浮垂直轴系统的 |
| 2.1.1 超精密气浮垂直轴系统的设计参数 |
| 2.1.2 超精密气浮垂直轴系统的总体设计 |
| 2.2 超精密气浮垂直轴系统的气体静压导轨结构设计与优化 |
| 2.2.1 气体静压导轨总体结构设计 |
| 2.2.2 气体静压导轨结构优化 |
| 2.3 超精密气浮垂直轴系统的卸荷系统设计 |
| 2.3.1 机械结构设计 |
| 2.3.2 卸荷系统气路设计 |
| 2.4 超精密气浮垂直轴系统的驱动控制系统设计 |
| 2.4.1 驱动系统设计 |
| 2.4.2 位置测量系统设计 |
| 2.4.3 控制系统设计 |
| 2.5 本章小结 |
| 第三章 超精密垂直轴气体静压导轨静态特性研究 |
| 3.1 气体静压轴承数学模型建立 |
| 3.1.1 气体静压轴承的工作原理 |
| 3.1.2 气体静压轴承雷诺方程的推导 |
| 3.2 气体静压轴承的有限元仿真 |
| 3.2.1 气体静压轴承的网格划分和边界条件设置 |
| 3.2.2 导入FLUENT的后处理和仿真结果分析 |
| 3.2.3 单向流固耦合分析 |
| 3.3 不同参数对气体静压导轨静态性能的影响 |
| 3.4 刚度测试实验与分析 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 超精密气浮垂直轴系统模态分析与热分析 |
| 4.1 超精密气浮垂直轴系统模态分析 |
| 4.1.1 超精密气浮垂直轴系统动力学方程建立 |
| 4.1.2 模型建立和网格划分 |
| 4.1.3 模态仿真结果分析 |
| 4.2 超精密气浮垂直轴系统热分析 |
| 4.2.1 热分析基础 |
| 4.2.2 热分析载荷及边界条件 |
| 4.2.3 热分析结果 |
| 4.3 本章小结 |
| 第五章 超精密气浮垂直轴系统的误差测量及分析 |
| 5.1 超精密垂直轴系统的误差来源分析 |
| 5.2 超精密垂直轴系统直线度误差分析 |
| 5.2.1 直线度误差及测量原理 |
| 5.2.2 直线度误差测量系统搭建及实验 |
| 5.2.3 实验结果分析 |
| 5.3 超精密垂直轴系统跟踪误差分析 |
| 5.4 本章小结 |
| 结论与展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
（3）数控机床在机测量系统相关性误差实验平台的研制（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 课题背景及研究意义 |
| 1.2 研究现状 |
| 1.2.1 数控机床在机测量系统研究现状 |
| 1.2.2 数控机床在机测量系统误差分析与补偿研究现状 |
| 1.2.3 数控机床在机测量系统实验装置研究现状 |
| 1.3 课题来源 |
| 1.4 课题主要内容 |
| 1.5 小结 |
| 2 数控机床在机测量系统误差来源 |
| 2.1 数控机床在机测量系统工作原理 |
| 2.2 XY工作台误差分析 |
| 2.3 XY工作台相关误差与影响因素分析 |
| 2.4 实验平台功能性要求 |
| 2.5 小结 |
| 3 机械结构设计 |
| 3.1 系统总体设计 |
| 3.2 机械结构设计 |
| 3.2.1 XY工作台结构设计 |
| 3.2.2 大理石底座设计 |
| 3.2.3 温控罩结构设计 |
| 3.2.4 测量夹具设计 |
| 3.2.5 机械部分实物 |
| 3.3 小结 |
| 4 控制与测试系统设计 |
| 4.1 控制系统设计 |
| 4.1.1 运动控制电路的设计 |
| 4.1.2 交流伺服电机的选型与计算 |
| 4.2 测试系统的开发 |
| 4.2.1 测试系统构成与原理 |
| 4.2.2 测试系统的硬件 |
| 4.2.3 测试程序开发 |
| 4.3 小结 |
| 5 实验装置的性能验证试验 |
| 5.1 XY工作台基于ANSYS的热分析 |
| 5.1.1 发热量理论计算 |
| 5.1.2 稳态热力学分析 |
| 5.1.3 瞬态热力学分析 |
| 5.2 温度场分布试验与综合验证试验 |
| 5.2.1 试验方案设计 |
| 5.2.2 温升实验数据分析 |
| 5.2.3 综合验证试验 |
| 5.3 试验结果与有限元仿真分析结果的对比 |
| 5.4 小结 |
| 6 结论与展望 |
| 6.1 结论 |
| 6.2 展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 作者简介及读研期间主要科研成果 |
（4）数控机床在机测量系统综合误差补偿建模方法的研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 课题背景及研究意义 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.2.1 数控机床阿贝误差研究现状 |
| 1.2.2 数控机床热误差的研究现状 |
| 1.2.3 在机测量系统综合误差建模与补偿的研究现状 |
| 1.3 课题来源 |
| 1.4 课题主要内容 |
| 1.5 本章小结 |
| 2 在机测量系统误差源分析 |
| 2.1 基于数控机床的在机测量系统组成及工作原理 |
| 2.1.1 机床本体 |
| 2.1.2 数控系统与伺服系统 |
| 2.1.3 测头系统与坐标测量系统 |
| 2.1.4 计算机系统 |
| 2.2 在机测量系统的测量过程 |
| 2.3 在机测量的主要误差源 |
| 2.3.1 机床本体的几何误差 |
| 2.3.2 机床导轨系统的阿贝误差 |
| 2.3.3 测头系统的误差 |
| 2.3.4 光栅系统误差 |
| 2.4 本章小结 |
| 3 光栅热误差与导轨系统阿贝误差的补偿模型 |
| 3.1 热变形临界点在光栅热变形中的应用 |
| 3.1.1 光栅的测量原理及传统的固定方式 |
| 3.1.2 传统安装方式的光栅热变形分析 |
| 3.1.3 光栅热变形临界点的概念及其确定方法 |
| 3.1.4 以热变形临界点为固定点的光栅热变形仿真分析 |
| 3.2 光栅测量系统零位漂移误差及示值误差的补偿模型 |
| 3.3 传统数控机床阿贝误差的建模方法 |
| 3.4 瞬时运动中心的确定方法与阿贝误差的补偿模型 |
| 3.4.1 瞬时运动中心的确定方法 |
| 3.4.2 基于偏摆瞬时运动中心的阿贝误差补偿模型 |
| 3.4.3 基于俯仰瞬时运动中心的阿贝误差补偿模型 |
| 3.4.4 基于滚转瞬时运动中心的阿贝误差补偿模型 |
| 3.5 本章小结 |
| 4 基于微分变换的在机测量系统综合误差建模 |
| 4.1 基于微分变换的数控机床几何误差建模理论 |
| 4.2 基于微分变化的在机测量系统综合误差建模 |
| 4.2.1 在机测量系统的运动链分析 |
| 4.2.2 在机测量系统坐标系的设定 |
| 4.2.3 在机测量系统齐次坐标的转换分析 |
| 4.3 基于微分变换的误差解耦理论 |
| 4.4 通用的在机测量系统综合误差解耦方法 |
| 4.5 本章小结 |
| 5 实验及结果分析 |
| 5.1机床模型单向热变形临界点实验 |
| 5.1.1 机床模型单向热变形临界点的仿真实验 |
| 5.1.2 机床模型单向热变形临界点实验设计 |
| 5.1.3 热变形临界点确定实验的结果分析 |
| 5.2 数控机床导轨系统单向阿贝误差补偿实验 |
| 5.2.1 实验装置的选择 |
| 5.2.2 实验方案的设计 |
| 5.2.3 基于瞬时运动中心的阿贝误差补偿 |
| 5.3 本章小结 |
| 结论与展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 作者简介及读研期间主要科研成果 |
（5）双向电感微位移传感技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 论文背景及研究的目的和意义 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 |
| 1.2.1 高精度电感位移传感技术研究现状 |
| 1.2.2 高精度电感位移传感器产品现状 |
| 1.2.3 电感位移传感信号处理技术研究现状 |
| 1.3 本领域存在的关键技术问题 |
| 1.4 本文的主要研究内容 |
| 第2章 双向电感微位移测头结构设计 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 双向电感位移传感器测头结构设计 |
| 2.3 双向电感位移传感器测头结构误差分析 |
| 2.3.1 机械加工及安装误差分析 |
| 2.3.2 机械结构运动引起的非线性误差分析 |
| 2.3.3 机械结构形变误差分析 |
| 2.4 本章小结 |
| 第3章 高精度电感传感信号处理技术研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 高精度电感传感信号处理总体方案设计 |
| 3.3 调制解调电路设计 |
| 3.3.1 载波发生单元电路设计 |
| 3.3.2 调幅调制单元电路设计 |
| 3.3.3 相敏检波单元电路设计 |
| 3.4 调制解调电路噪声模型及优化设计 |
| 3.4.1 调制解调电路噪声模型分析 |
| 3.4.2 调制解调电路参数优化设计 |
| 3.5 传感器非线性补偿设计 |
| 3.6 本章小结 |
| 第4章 基于测头恒温控制的传感器漂移抑制技术研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 测头恒温控制结构设计 |
| 4.3 测头恒温控制电路设计 |
| 4.3.1 温度测量模块设计 |
| 4.3.2 温度控制模块设计 |
| 4.3.3 电磁屏蔽设计 |
| 4.4 温度控制算法设计 |
| 4.4.1 温度控制单元模型辨识 |
| 4.4.2 PID控制器设计 |
| 4.5 测头恒温控制效果测试 |
| 4.6 本章小结 |
| 第5章 实验 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 实验平台搭建 |
| 5.3电感位移传感器性能测试实验 |
| 5.3.1分辨力实验 |
| 5.3.2稳定性实验 |
| 5.3.3非线性实验 |
| 5.3.4重复性实验 |
| 5.3.5回程差实验 |
| 5.4 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
（6）超精密液体静压B轴转台设计及静动态特性分析（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 |
| 1.2.1 液体静压支撑原理的研究现状 |
| 1.2.2 液体静压转台的研究现状 |
| 1.2.3 国内外文献综述简析 |
| 1.3 课题主要研究内容 |
| 第2章 液体静压转台系统结构方案设计 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 静压转台的设计指标和方案 |
| 2.3 静压轴承的承载能力计算和结构设计 |
| 2.3.1 止推轴承承载能力计算和结构设计 |
| 2.3.2 径向轴承承载能力计算和结构设计 |
| 2.4 静压轴承的摩擦力矩与液压油平均温升 |
| 2.4.1 静压轴承的摩擦力矩 |
| 2.4.2 静压轴承液压油的平均温升 |
| 2.5 静压转台的结构设计 |
| 2.6 本章小结 |
| 第3章 液体静压转台的流固耦合分析 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 静压转台流固耦合分析基础 |
| 3.3 止推轴承流固耦合分析 |
| 3.3.1 止推轴承流固耦合仿真模型 |
| 3.3.2 止推轴承流固耦合仿真结果 |
| 3.4 径向轴承流固耦合分析 |
| 3.4.1 径向轴承流固耦合仿真模型 |
| 3.4.2 径向轴承流固耦合仿真结果 |
| 3.5 本章小结 |
| 第4章 液体静压转台系统动态特性分析 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 静压转台结构的模态分析 |
| 4.2.1 模态分析简介 |
| 4.2.2 静压转台模态分析结果 |
| 4.3 静压转台结构的谐响应分析 |
| 4.4 静压转台伺服系统的设计及仿真 |
| 4.4.1 力矩电机直驱静压转台的数学模型 |
| 4.4.2 静压转台伺服系统的设计 |
| 4.4.3 静压转台伺服系统的Simulink仿真 |
| 4.5 本章小结 |
| 第5章 液体静压转台特性的测量实验 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 静压转台的轴向承载力和刚度测量 |
| 5.3 静压转台的固有频率测量 |
| 5.4 静压转台的跳动误差测量 |
| 5.4.1 静压转台径向跳动误差测量原理 |
| 5.4.2 静压转台径向跳动误差测量实验 |
| 5.4.3 静压转台轴向跳动误差测量实验 |
| 5.5 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
（7）空气静压主轴组件测试实验台研制及回转误差分析（论文提纲范文）
| 摘要 |
| 英文摘要 |
| 1 绪论 |
| 1.1 课题研究背景及意义 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.2.1 气体轴承研究现状 |
| 1.2.2 空气主轴性能测试实验台研究现状 |
| 1.2.3 超精密轴系回转误差研究现状 |
| 1.3 课题的主要研究内容 |
| 2 空气静压主轴测试实验台设计 |
| 2.1 空气静压主轴测试实验台技术指标 |
| 2.2 系统总体方案设计 |
| 2.3 实验台机械系统结构设计 |
| 2.3.1 加载系统设计 |
| 2.3.2 被测主轴固定结构设计 |
| 2.4 实验台测试系统设计 |
| 2.4.1 测试系统构成 |
| 2.4.2 传感器的选择 |
| 2.5 供气控制系统设计 |
| 2.6 本章小结 |
| 3 空气静压主轴测试实验台的装调与标定 |
| 3.1 概况 |
| 3.2 被测主轴夹持装置装调 |
| 3.3 加载装置装调 |
| 3.4 驱动系统装调 |
| 3.5 测试传感器的标定 |
| 3.6 本章小结 |
| 4 空气静压主轴回转误差测量方法研究 |
| 4.1 主轴回转误差测量方法 |
| 4.1.1 主轴回转误差传统测量方法 |
| 4.1.2 超精密轴系回转误差传统测量方法 |
| 4.2 主轴回转误差分离方法 |
| 4.2.1 主轴回转误差传统分离方法 |
| 4.2.2 本课题选择的误差分离方法 |
| 4.3 本章小结 |
| 5 测试实验研究及误差分析 |
| 5.1 被测实验主轴结构 |
| 5.2 测试实验方案 |
| 5.2.1 实验准备 |
| 5.2.2 空气静压主轴回转精度测试 |
| 5.2.3 空气静压主轴转速测试 |
| 5.2.4 空气静压主轴气膜厚度测试 |
| 5.2.5 空气静压主轴承载力测试 |
| 5.3 空气静压主轴各参数测试结果及分析 |
| 5.4 空气静压主轴测试系统误差分析 |
| 5.4.1 测试系统误差分析 |
| 5.4.2 机械装置误差分析 |
| 5.4.3 测量仪器对测量结果的分析 |
| 5.5 本章小结 |
| 6 总结与展望 |
| 6.1 总结 |
| 6.2 展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 攻读硕士学位期间发表的专利 |
（8）弹性薄板空气静压止推轴承静动态性能实验研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 研究背景及意义 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.3 论文研究主要研究内容 |
| 2 空气静压止推轴承的实验测试原理及方案 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 空气静压止推轴承的性能测试实验目的及内容 |
| 2.2.1 实验目的 |
| 2.2.2 实验对象 |
| 2.2.3 实验内容 |
| 2.3 空气静压轴承静态及动态性能理论及实验方案 |
| 2.3.1 静态性能理论及实验方案 |
| 2.3.2 动态性能理论及实验方案 |
| 2.4 实验方案选择 |
| 2.5 本章小结 |
| 3 空气静压止推轴承实验台的设计及调试 |
| 3.1 空气静压止推轴承测试实验台技术要求 |
| 3.2 空气静压止推轴承静态测试试验台设计 |
| 3.2.1 静态测试实验台总体方案 |
| 3.2.2 静态性能实验台机械结构 |
| 3.2.3 静态性能实验台测试系统 |
| 3.2.4 静态性能实验台实物图 |
| 3.3 空气静压止推轴承动态性能实验台设计 |
| 3.3.1 动态测试实验台总体方案 |
| 3.3.2 动态性能实验台机械系统 |
| 3.3.3 动态性能实验台测试系统硬件构成 |
| 3.3.4 动态性能实验台数据采集系统软硬件构成 |
| 3.3.5 动态性能实验台实物图 |
| 3.4 空气静压止推轴承测试实验台辅助系统 |
| 3.5 空气静压止推轴承实验台的实验测试及调试 |
| 3.5.1 实验台静态承载测试 |
| 3.5.2 实验台动态承载测试 |
| 3.6 本章小结 |
| 4 弹性薄板空气静压止推轴承的制造工艺 |
| 4.1 弹性薄板空气静压止推轴承工作原理 |
| 4.2 轴承加工的真空钎焊工艺 |
| 4.2.1 母材介绍 |
| 4.2.2 钎料选择 |
| 4.2.3 钎焊的工艺参数 |
| 4.2.4 钎焊结果 |
| 4.3 研磨抛光工艺及平面度检测 |
| 4.3.1 研磨抛光工艺 |
| 4.3.2 轴承工作面平面度检测 |
| 4.4 本章小结 |
| 5 弹性薄板空气静压轴承的性能实验研究 |
| 5.1 静态性能实验 |
| 5.1.1 实验方法 |
| 5.1.2 静态实验结果 |
| 5.2 动态性能实验 |
| 5.2.1 实验方法 |
| 5.2.2 实验测试结果 |
| 5.3 本章小结 |
| 6 结论与展望 |
| 6.1 结论 |
| 6.2 展望 |
| 参考文献 |
| 读硕士学位期间发表的论文及专利 |
| 致谢 |
（9）面向SEM的惯性粘滑驱动跨尺度精密运动平台研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 课题研究背景和意义 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.2.1 表面微织构技术国内外研究现状 |
| 1.2.2 惯性粘滑驱动平台国内外研究现状 |
| 1.3 国内外研究现状分析 |
| 1.4 研究内容及目标 |
| 第二章 惯性粘滑驱动摩擦界面织构化的微观摩擦机理研究 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 惯性粘滑驱动机理 |
| 2.3 微观摩擦力学模型 |
| 2.3.1 范德华力力学模型 |
| 2.3.2 静电力力学模型 |
| 2.3.3 棘轮模型 |
| 2.4 微观力学仿真与分析 |
| 2.5 本章小结 |
| 第三章 表面微织构对惯性粘滑驱动的影响与优化研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 表面微织构的方案 |
| 3.2.1 表面微织构类型设计 |
| 3.2.2 表面微织构参数设计 |
| 3.3 表面微织构的测试实验系统 |
| 3.3.1 实验设备 |
| 3.3.2 实验系统的搭建 |
| 3.3.3 摩擦力测试系统 |
| 3.3.4 表面微织构试件的制备 |
| 3.4 表面微织构对惯性粘滑驱动的影响测试 |
| 3.4.1 不同类型表面微织构的测试 |
| 3.4.2 沟槽型微织构的测试 |
| 3.4.3 沟槽型微织构测试结果分析 |
| 3.4.4 锯齿型微织构的测试与结果分析 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 基于惯性粘滑驱动的跨尺度运动平台结构研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 惯性粘滑驱动平台的总体要求与方案 |
| 4.3 惯性粘滑驱动平台中倾覆力矩的影响 |
| 4.3.1 倾覆力矩的理论分析 |
| 4.3.2 倾覆力矩的仿真与计算 |
| 4.4 结构设计 |
| 4.4.1 柔性铰链的尺寸选择与优化 |
| 4.4.2 单自由度运动平台样机一 |
| 4.4.3 单自由度运动平台样机二 |
| 4.4.4 双自由度运动平台样机 |
| 4.5 本章小结 |
| 第五章 惯性粘滑驱动实验系统研究 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 实验系统 |
| 5.2.1 静态实验系统搭建 |
| 5.2.2 动态实验系统搭建 |
| 5.3 倾覆力矩对惯性粘滑驱动的影响测试 |
| 5.4 单自由度运动平台的性能测试 |
| 5.4.1 分辨率测试 |
| 5.4.2 保持力测试 |
| 5.4.3 单步位移测试 |
| 5.4.4 步长重复性测试 |
| 5.4.5 速度测试 |
| 5.4.6 推力测试 |
| 5.4.7 织构优化性能测试 |
| 5.4.8 样机直线性测试 |
| 5.5 双自由度运动平台的性能测试 |
| 5.5.1 直线运动步长重复性测试与速度测试 |
| 5.5.2 旋转运动步长重复性测试和速度测试 |
| 5.5.3 保持力与推力测试 |
| 5.6 本章小结 |
| 第六章 总结与展望 |
| 6.1 论文总结 |
| 6.2 研究展望 |
| 参考文献 |
| 攻读学位期间本人出版或公开发表的论着、论文 |
| 致谢 |
（10）三维测头导向机构的精度分析与提高（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 课题来源及研究背景 |
| 1.2 课题研究的目的及意义 |
| 1.3 国内外研究现状 |
| 1.3.1 三维扫描测头的研究现状 |
| 1.3.2 测头导向机构的研究现状 |
| 1.4 课题研究的主要内容 |
| 2 三维测头导向机构的评价指标 |
| 2.1 导向机构的线性度 |
| 2.2 导向机构的空间探测精度 |
| 2.3 导向机构的耦合误差 |
| 2.4 小结 |
| 3 三层楼式测头的导向精度分析 |
| 3.1 平行簧片导向机构 |
| 3.1.1 平行簧片导向机构力学模型的建立与分析 |
| 3.1.2 平行簧片导向机构的有限元分析 |
| 3.1.3 平行簧片导向机构特征参数的分析 |
| 3.2 三层楼式导向机构建模 |
| 3.2.1 三层楼式测头结构分析 |
| 3.2.2 模型建立及简化 |
| 3.3 三层楼式导向机构线性度分析 |
| 3.3.1 线性度仿真方案 |
| 3.3.2 线性度仿真数据的处理 |
| 3.3.3 线性度仿真结果分析 |
| 3.4 三层楼式导向机构的空间探测精度分析 |
| 3.4.1 探测误差仿真方案 |
| 3.4.2 探测误差仿真数据处理 |
| 3.4.3 探测误差仿真结果分析 |
| 3.5 三层楼式导向机构模态分析 |
| 3.6 三层楼式导向机构的精度提高 |
| 3.7 小结 |
| 4 并联式测头的导向精度分析 |
| 4.1 并联式导向机构建模 |
| 4.1.1 并联式测头结构分析 |
| 4.1.2 模型建立及简化 |
| 4.1.3 并联式导向机构有限元分析 |
| 4.2 并联式导向机构的线性度分析 |
| 4.2.1 线性度仿真数据处理 |
| 4.2.2 线性度仿真结果分析 |
| 4.3 并联式导向机构的空间探测精度分析 |
| 4.3.1 探测误差仿真数据处理 |
| 4.3.2 探测误差仿真结果分析 |
| 4.4 并联式导向机构模态分析 |
| 4.5 并联式导向机构精度的提高 |
| 4.6 小结 |
| 5 结论和展望 |
| 5.1 结论 |
| 5.2 展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
四、接触式测微仪测头动态性能分析（论文参考文献）
- [1]面向显微操作的并联微动平台的设计与研究[D]. 李毅. 燕山大学, 2021(01)
- [2]超精密气浮垂直轴系统的设计与性能测试[D]. 唐思源. 广东工业大学, 2021
- [3]数控机床在机测量系统相关性误差实验平台的研制[D]. 张铈岱. 安徽理工大学, 2019(01)
- [4]数控机床在机测量系统综合误差补偿建模方法的研究[D]. 陈邦晟. 安徽理工大学, 2019(01)
- [5]双向电感微位移传感技术研究[D]. 刘敏. 哈尔滨工业大学, 2019(02)
- [6]超精密液体静压B轴转台设计及静动态特性分析[D]. 张晏铭. 哈尔滨工业大学, 2019(02)
- [7]空气静压主轴组件测试实验台研制及回转误差分析[D]. 王月皎. 西安工业大学, 2019(03)
- [8]弹性薄板空气静压止推轴承静动态性能实验研究[D]. 陈登弟. 西安工业大学, 2019(03)
- [9]面向SEM的惯性粘滑驱动跨尺度精密运动平台研究[D]. 刘彬. 苏州大学, 2019(04)
- [10]三维测头导向机构的精度分析与提高[D]. 李莎. 西安工业大学, 2018(01)