一、激光切割石英摆片的若干问题研究（论文文献综述）
陶彧敏[1]（2017）在《激光陀螺惯性测量系统温度补偿技术研究》文中指出随着激光陀螺精度和批量生产技术的提高,在惯性导航领域的应用越来越广泛。在飞行器的研发过程中,要求严格把控激光陀螺惯性测量系统（以下简称激光惯组）各项指标,其中启动时间指标尤其重要。温度是影响惯性导航系统启动时间长短的重要因素,研究如何减弱温度带来的负面影响成为亟待突破的关键技术。本文以激光惯组为主要研究对象,以实现惯组快速启动,提高惯组精度为目的,以理论研究为先导,重点突破激光惯组的温控温补技术。首先,简要罗列了激光惯组的重要组件并简述其原理,分析了激光陀螺、石英挠性加速度计和I/F转换电路的温度特性以及温度误差产生的根源,明确温度误差补偿的关键性,简述四种建模方法的原理,分析和比较各自的优缺点及适用范围。其次,激光陀螺的温补方面,分别在恒温和变温环境下,对陀螺的输出与温度,温度变化率,温度梯度等九种变量进行逐步回归分析,比较分析补偿前后的输出稳定性。在提高精度的基础上,着重分析如何通过样条插值法实现对陀螺的零偏建模补偿。加速度计系统方面,从温补的角度上,基于样条插值法迭代修正优化模型,从温控的角度上,进行了控制系统的硬件架构搭建和软件算法的设计。最后,从静态输出稳定性和标定精度方面验证了激光陀螺和加速度计温补效果以及温度控制系统的性能,有效地缩短惯组的启动预热时间,提高了惯组输出和标定的精度,从而达到惯组的使用要求。
陆旺[2]（2017）在《新型小型化石英振子设计与实现》文中提出现代压电石英晶体振荡器向小尺寸、低功耗、高频率、高稳定度的方向发展,石英晶体振荡器产品面临着小型化发展的巨大压力。在过去的数十年来,石英振子的制造工艺一直沿用机械研磨加工工艺。当传统机械研磨加工工艺开发更小型化的石英晶体元件,遭遇到工艺瓶颈影响。针对传统机械研磨工艺难以加工小型化石英振子的现状,开发新型工艺用于小型化石英振子设计、制造势在必行。本论文正是针对上述问题,以石英晶体振荡器中关键部件石英振子小型化设计与实现作为主要的研究对象,在深入分析石英振子工作的理论基础和技术原理上,提出了一种新型小型化石英振子方案。对该石英振子设计和实现进行了详尽的讨论和研究。主要内容为:1.在分析讨论石英晶体振荡器基础理论和工作原理的基础上,提出了一种具有凸台结构的石英振子,这种石英振子具有设计参数简单、加工精度可有效控制、体积小、生产成本低的优点。2.采用有限元分析法,仿真分析了新型小型化石英振子的谐振响应,并通过调整设计凸台高度、尺寸,分析了寄生振动与凸台参数设计之间的关系。完成了F=19.2MHz 2520规格石英振子设计。3.研究分析了传统石英振子加工工艺和日本QMEMS石英加工工艺的特点,提出了一种新型石英振子晶片加工工艺技术。该技术具有工艺简单、生产成本低、设备引入少的优点。基于对F=19.2MHz石英振子晶片的加工,就石英振子尺寸加工、石英振子外形加工、石英振子频率调整工作进行了的深入研究,并得到相关研究结论。制作完成的石英振子满足课题提出的加工参数指标。4.通过将制作的石英振子封装成石英晶体振荡器,实际测试出新型小型化石英振子的性能,石英振子在温度-频率特性参数、谐振频率与谐振电阻参数方面均符合产品实际应用要求。
葛颂[3]（2017）在《石英挠性加速度计抗冲击性能与温度特性的研究》文中研究说明石英挠性加速度计是一种高精度惯性传感器,具有低成本、易操作、结构简单、弹性后效小等特点,普遍应用于捷联式惯性导航中。然而工作时,加速度计可能长时间处在振动、冲击、温度剧变等恶劣环境中,对其精度、稳定性和寿命都有很大的影响。本文通过理论分析与具体试验相结合的方法,深入研究了石英挠性加速度计的抗冲击性能与温度特性。主要研究内容如下:1.对石英挠性加速度计的抗冲击性能进行了分析和优化。首先,由材料力学知识与摆组件运动模型依次计算了摆组件的刚度、机械灵敏度、转动惯量及固有频率,接着通过模态分析与瞬态动力学分析对比了摆组件在各基准轴方向上的抗冲击能力,并确定了挠性梁上应力最大区域,最后从材料与结构方面分别提出了改善措施。2.研究了石英挠性加速度计的温度误差模型与补偿技术。首先详细阐述了温度误差机理,接着介绍了温度试验平台和具体测试方法,然后在1g重力场内,采用十二点翻转法与最小二乘法对加速度计温度误差模型进行了辨识,并拟合出了偏值、标度因数等与温度的关系公式,最后对系统输出数据进行了补偿。结果表明,经软件补偿后,明显提高了加速度计的输出精度。3.从结构层面入手,对力矩器补偿环进行了分析与优化,以提高工作气隙处磁场的温度稳定性。首先详细介绍了力矩器各组成部分,尤其是补偿环的结构和工作原理,接着对气隙处的磁场进行了有限元仿真分析,找出了力矩线圈最佳工作区域,减少因摆组件上下摆动造成的测量误差,然后通过控制变量法和迭代法对比了温度在-20oC60oC时,补偿环的高度与横截面积对补偿效果的影响,验证了补偿环的误差补偿作用,且高度是影响补偿效果的关键参数,最后结合具体试验数据,对补偿环的尺寸进行了优化。研究表明,当力矩线圈处于最佳工作位置以及补偿环适当尺寸下,工作气隙磁场的温度稳定性得到了很大提升。
张晖[4]（2016）在《铝合金薄板激光切割工艺研究》文中认为激光切割同其他热切割方法相比,有切缝窄、热影响区小、效率高、切割范围广、柔性好和能节省材料等优点。近年来,激光切割在工程应用中日益广泛,铝合金也越来越多地应用于我国先进技术领域如航空方面,但是由于铝合金的激光吸收率低等原因,目前铝合金激光切割应用较少,并且在激光方面的研究中,与铝合金相关的激光切割工艺研究较少,所以如何选择合适的工艺参数来提高铝合金的激光切割质量是一个重要课题。在理论分析方面,介绍了激光的产生和特性以及激光切割的机理、分类及激光切割过程的能量转换,并对激光切割工艺及切割路径的选择等问题进行了分析,归纳了激光切割质量的评价指标和其主要的影响因素,确定了影响铝合金激光切割质量因素为激光功率,切割速度和气体压力以及衡量激光切割质量的主要指标为切割面粗糙度、挂渣长度和切割缝宽度。在试验分析方面,首先运用数据处理软件MATLAB对激光切割进行了能量分析以及分析计算了切缝宽度的数学模型,得到了特定激光功率和铝合金板材厚度下的最大切割速度mv;其次,建立了影响因素（激光功率,切割速度和气体压力）对激光切割质量的单因素试验方案,分析了影响因素对切割质量各指标的影响规律;再次,通过建立正交综合试验并且结合矩阵分析法确定了综合质量最优的因素组合;最后,基于正交试验建立一次回归正交设计方案,获得了影响因素与试验指标的一次回归方程,通过检验验证得出了回归方程在置信度95%情况下高度显着。在激光切割模型分析方面,建立了基于正交试验的人工神经网络模型,即BP（Back-Propagation）神经网络,得到了影响因素与激光切割各指标之间的高度非线性方程。运用遗传算法对非线性方程极值寻优的特性,在BP神经网络模型上结合遗传算法,求取了非线性方程的极值,得到了切割质量最佳的工艺参数方案,该结果与正交试验分析下的最优方案吻合。
秦淑斌,袁枫,江安然[5]（2015）在《石英摆片激光切割技术研究》文中指出针对激光切割技术在典型石英结构——加速度计摆片加工成形中的应用,探讨了激光与石英材料的作用机理,进行了激光切割成形以及消应力试验。在此基础上详细分析了激光切割工艺参数和后处理对石英摆片成形质量的影响,对精密石英结构的制造具有普遍的意义。
王家鹏[6]（2015）在《石英摆片设计与化学腐蚀加工技术》文中进行了进一步梳理石英挠性加速度计作为一种高精度机械式线性加速度计，是目前惯性导航系统中重要的传感器。石英摆片是它的心脏，起敏感加速度作用。石英属于硬脆材料，它与金属材料不同，具有低塑性、易碎性和微裂纹等缺点，且石英摆片形状复杂、几何尺寸精度和表面质量要求很高，使得石英摆片采用传统的金属加工方法很难进行加工，存在着加工效率低、工件易破碎、能耗大、加工质量差、许多设计要求无法实现等问题。本文针对这些问题，对石英摆片进行了设计，并研究了其化学腐蚀方法与下垂量检测技术。本文的主要研究内容如下：第一章，综述了国内外石英摆片加工技术的发展状况和石英摆片检测技术国内外现状，比较了目前石英摆片各种加工方法和各种检测技术的优缺点，提出了本文的主要研究内容和课题的研究意义。第二章，介绍了石英挠性加速度计的结构与工作原理，建立了石英挠性加速度计的动力学方程、传递函数和静态数学模型，了解了石英摆片的各项参数对其性能的影响。介绍了石英材料的特性，设计了石英摆片的结构，对石英摆片的载荷进行了计算。第三章，提出静力分析和模态分析的理论模型，用ANSYS软件建立了石英摆片的有限元模型，针对不同厚度挠性梁的石英摆片进行了静力分析，得到了不同厚度的挠性梁在相同载荷下的应变和应力；对石英摆片进行了模态分析，得到前五阶模态的频率和振型，通过改善石英摆片尺寸，防止石英摆片与环境共振，保证石英挠性加速度计的测量精度。第四章，从氢氟酸溶液特征、石英材料的表面特征、反应机理及反应分子模型三个方面介绍了石英摆片化学腐蚀原理，分析了石英摆片化学腐蚀实验的工艺流程，包括腐蚀液的选择、保护层及设备的选择以及加工过程的控制，介绍了石英摆片挠性梁厚度的测量方法。进行了化学腐蚀加工试验，然后测量了试验样品的挠性梁厚度，试验结果表明，石英摆片挠性梁的加工采用化学腐蚀加工工艺是成功的。第五章，介绍了石英摆片下垂量的概念，并对其进行了理论计算，提出了下垂量检测原理，介绍了计算机视觉检测技术，对下垂量检测系统进行了总体的设计，介绍了装置中用到零部件，对搭建完成的下垂量检测平台实物进行了描述；最后对化学腐蚀加工后的石英摆片进行下垂量检测试验，分析了试验结果，证明了化学腐蚀加工后的石英摆片的质量是合格的，同时也验证了有限元静力分析和下垂量理论计算的准确性。最后总结了论文的主要研究内容，并对石英摆片的化学腐蚀方法和下垂量检测技术的进一步研究工作进行了探讨和展望。
王汕[7]（2012）在《激光刻蚀抛光石英玻璃工艺研究》文中进行了进一步梳理石英玻璃由于对近红外到紫外波段透射率高、高硬度、热性能好、耐酸碱和高绝缘性以及良好的化学稳定性等一系列优异的物化性能，成为光电子、微电子、光学以及光纤技术行业的重要材料，在国防、汽车工业、航空航天、光学以及电子领域、民用和生物医学等方面有着广泛的应用。但是由于石英材料属于硬脆性材料，具有脆性高、断裂韧性低、材料的弹性极限和强度非常接近等特性。到目前为止，该材料的加工仍然是一件困难的事情。本论文采用波长为355nm的脉冲紫外激光作为光源，并分别设置激光直接刻蚀、激光诱导等离子体刻蚀和激光背部湿刻蚀等不同的实验方法对石英玻璃进行了一系列刻蚀实验研究。研究了激光脉冲能量密度、激光重复频率、刻蚀次数、扫描速度、离焦量以及填充间距对石英玻璃刻蚀阈值、刻蚀深度、刻蚀底部粗糙度和刻蚀边缘质量的影响规律，从理论上分析和讨论了不同刻蚀方法与石英玻璃作用机制和相互作用机理。试验结果和机理分析指出激光直接刻蚀和激光背部湿刻蚀方法均能获得较深的刻蚀深度，但刻蚀边缘脆裂崩边现象无法避免，刻蚀底面粗糙度较高。尤其是激光背部湿刻蚀方法的重复性、一致性和稳定性极差。而激光诱导等离子体刻蚀方法可获得无脆裂崩边、整齐的刻蚀边缘，刻蚀底部粗糙度可达1μm以下的良好刻蚀质量，且具有很好的重复性、一致性和稳定性，并且能实现在石英玻璃表面进行复杂图形的刻蚀工作,但刻蚀深度受到一定限制。本实验中的激光诱导等离子体刻蚀方法最大刻蚀深度为22μm。为了进一步提高激光刻蚀面光洁度，本论文提出了CO2激光抛光石英玻璃刻蚀面的创新方法来提高激光诱导等离子体刻蚀面的光洁度，并对其实验和机理进行分析研究。研究结果证明该方法在厚度为0.6mm厚的石英片的深度为15μm刻蚀面粗糙度进行激光抛光，可有效地使粗糙度进一步下降到85nm，且刻蚀边缘没有出现崩边碎裂现象。
李安[8]（2011）在《石英挠性加速度计关键技术研究》文中指出石英挠性加速度计是测量线加速度的高精度传感器,在惯性导航系统中具有重要的作用。然而石英挠性加速度计在使用时容易导致石英摆片挠性梁的断裂,磁感应强度容易受时间、温度等环境因素的影响导致测量产生不稳定性现象。国外禁止向我国出口石英挠性加速度计高精度传感器,并且国内对高精度石英挠性加速度计的需求非常迫切。因此,研究石英挠性加速度计的关键技术对高精度传感器的应用起着重要的作用。本文研究了石英挠性加速度计的两部分关键技术:一方面根据石英摆片进行了受力计算和有限元应力分析,改进了石英摆片的结构,并对石英摆片进行了加工实验;另一方面对力矩器进行了设计,运用ANSYS分析得出了力矩器的磁场分布,并且验证了工作间隙的磁感应强度及电磁力的大小。本文主要研究内容如下:第1章,介绍了加速度传感器的作用和分类,分析了石英挠性加速度计的国内外研究状况,提出了本文研究的主要研究内容、研究意义及创新点。第2章,介绍了石英挠性加速度计的结构及工作原理,设计了石英挠性加速度计结构的三维造型,分析了其动态力学方程及静态数学模型;根据电容式传感器的工作原理,论述了差动电容传感器的主要特性,介绍了石英挠性加速度计使用的差动电容检测电路,并研究了外界影响因素。第3章,介绍了石英摆片组件的结构。结合梁断裂问题和载荷计算,对石英摆片组件进行了有限元应力分析,并研究了影响其强度的因素,改进了石英摆片的结构。利用超声加工、化学蚀刻及镀膜工艺完成了高精度石英摆片的加工。第4章,介绍了伺服控制系统和力矩器的结构组成,介绍了混合集成伺服电路HB309。对工作间隙、磁钢、线圈组件进行了设计,完成了磁路计算,得出了工作间隙的磁感应强度及线圈受力的大小。第5章,根据力矩器的实际结构组成,利用ANSYS软件进行了二维电磁场的有限元分析,得出了磁场分布、工作间隙磁感应强度及通电线圈受力大小。结果表明,分析所得结果与理论计算相符。
施阳和[9]（2008）在《微机械石英陀螺敏感元件的设计与制造研究》文中提出MEMS是近年来比较热门的一个新兴的技术领域,具有广阔的发展前景。MEMS技术在惯性领域的发展应用催生了微惯性技术。微惯性技术的发展,主要集中在微机械加速度计和微机械陀螺这两大类产品领域内。而微机械石英陀螺是微机械陀螺中发展较快的一种。微机械石英陀螺,是二十世纪八十年代末出现的一种微惯性器件,属于中低精度陀螺。微机械石英陀螺,以其具有的成本低、体积小、结构简单、可靠性高等特点在现代精确打击战术武器的军事方面和民用汽车等非军事方面获得了广泛的应用,显示其是一种非常有前途的微机械振动陀螺。在研究微机械石英陀螺的国内外发展研究现状的基础上,对微机械石英陀螺的设计、制造和振动模式测试等方面进行了深入研究,研究的内容及成果如下:总结和研究了压电石英晶体的材料特性和微机械石英陀螺的动力学问题。指出柯氏力偶引起的扭转运动是实现石英陀螺的机械解耦的关键。同时在深入研究公理设计理论和振动陀螺原理的基础上,提出了振动陀螺的公理设计模型。振动陀螺的公理设计模型解决了陀螺设计中有运动耦合的问题,使得原先一些从经验、甚至直觉发展而来的微机械振动陀螺的设计准则有了科学的依据。这对微机械振动陀螺的规范化设计和创新是有较大的指导意义的。在振动陀螺的公理设计模型的指导下,对微机械石英陀螺的材料特性和现有的微机械石英陀螺结构进行了深入研究,提出了一种新的结构,即微机械梳齿石英陀螺。用有限元方法对其进行了模态研究,并分析了相关尺寸参数对微机械梳齿石英陀螺的振动模态的影响。推导建立了微机械梳齿石英陀螺的集总参数模型并据此开展了驱动模式和感测模式的定量研究。微机械石英陀螺的电路主要是驱动电路和检测电路。选用ADM8660实现升压,并采用专用函数信号发生器XR-2206产生恒频等幅正弦驱动信号。检测电路须实现陀螺元件输出信号的放大、解调和滤波功能。通过电荷放大器和锁定放大器得到了高信噪比的信号。最后运用Matlab对检测电路进行了仿真研究。仿真结果表明,采用锁定放大原理,只要处理好电路中的噪声和滤波的效果就可以得到很高的信噪比。研究了微机械石英陀螺加工制造中涉及到的问题。并结合现有条件,对超声波加工及超声加工石英机理等问题进行了研究。用超声成型加工方法加工出了微机械梳齿石英陀螺基片结构。针对MEMS结构的尺寸微小,共振频率高这一特点,开发研制了MEMS用的多载荷加载台。通过这一多载荷加载台,可以进行基础激励、温度和压力的精确控制,实现不同的真空环境下MEMS的静动态性能测试。同时也据此开展了微机械梳齿石英陀螺的振动模式的研究。
武士轻[10]（2008）在《半球陀螺谐振子成型工艺研究》文中认为半球谐振陀螺是20世纪60年代才出现的一种新型陀螺。半球谐振陀螺由半球形谐振子、静电激励罩、敏感读出基座3部分组成,均由高品质因数（Q）的熔融石英玻璃材料精密加工而成,并在表面上进行金属化处理。将振子、静电激励罩、敏感基座精密装配焊接在一起,并密封在一个高真空的容器中,形成一个完整而独立的角度或角速度传感器。与传统的机械陀螺和光学陀螺相比,半球谐振陀螺具有如下优势:结构上无高速转子、无活动部件;不需预热,启动时间短;信号频带宽,漂移噪声低;能承受大的机动过载;抗核辐射,并可经受短时间电源中断的影响;体积小,重量轻,功耗低,寿命长,非常适合空间应用。所以研究半球陀螺具有重要的意义。在考虑石英材料性质和所加工形状特性的基础上,设计了半球谐振陀螺中最重要部分——谐振子的成型工艺。在研究中,利用了单点金刚石车削技术加工模具,对研磨工艺、保形磨具、研磨余量、溅射镀膜、镀膜材料、激光切割进行了研究来实现性能指标。对未来我国半球陀螺事业和以后深入研究打下了基础。
二、激光切割石英摆片的若干问题研究（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、激光切割石英摆片的若干问题研究（论文提纲范文）
（1）激光陀螺惯性测量系统温度补偿技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 课题的背景及意义 |
| 1.2 国内外研究现状 |
| 1.2.1 惯性导航的发展 |
| 1.2.2 国内惯组温控温补研究现状 |
| 1.2.3 国外惯组温控温补研究现状 |
| 1.3 课题的目的 |
| 1.4 课题的主要研究内容及编排 |
| 第二章 激光惯组原理及误差分析 |
| 2.1 激光惯组简介 |
| 2.1.1 激光惯组的工作原理 |
| 2.1.2 激光惯组组成 |
| 2.2 激光陀螺原理及特点 |
| 2.2.1 激光陀螺工作原理 |
| 2.2.2 激光陀螺闭锁效应 |
| 2.2.3 激光陀螺特点 |
| 2.3 石英挠性加速度计原理及特点 |
| 2.3.1 石英挠性加速度计结构特点 |
| 2.3.2 石英挠性加速度计工作原理 |
| 2.3.3 石英挠性加速度计特点 |
| 2.3.4 I/F转换电路工作原理 |
| 2.4 惯组的误差模型 |
| 2.5 温度误差建模方法 |
| 2.5.1 最小二乘法 |
| 2.5.2 逐步回归法 |
| 2.5.3 神经网络法 |
| 2.5.4 样条插值法 |
| 2.5.5 建模方法优缺点分析 |
| 2.6 本章小结 |
| 第三章 激光陀螺温度误差补偿 |
| 3.1 激光陀螺温度特性分析 |
| 3.1.1 激光陀螺温度误差模型 |
| 3.1.2 温度对激光陀螺影响分析 |
| 3.1.3 单陀螺的温度仿真分析 |
| 3.2 基于逐步回归法的温补建模 |
| 3.2.1 逐步回归分析 |
| 3.2.2 恒温环境下逐步回归分析 |
| 3.2.3 变温环境下逐步回归分析 |
| 3.3 基于样条插值的温补建模 |
| 3.3.1 标定实验设计 |
| 3.3.2 样条插值建模 |
| 3.3.3 离线补偿结果验证 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 石英挠性加速度计系统温度误差补偿 |
| 4.1 石英挠性加速度计系统温度特性分析 |
| 4.1.1 加速度计温度误差模型 |
| 4.1.2 温度对石英挠性加速度计的影响 |
| 4.1.3 I/F转换电路温度特性 |
| 4.2 石英挠性加速度计系统温补式设计 |
| 4.2.1 加速度计各参数温度误差建模 |
| 4.2.2 离线补偿结果验证 |
| 4.2.3 模型的迭代修正 |
| 4.2.4 补偿结果对比 |
| 4.3 石英挠性加速度计系统温控式设计 |
| 4.3.1 温控方案的设计与实现 |
| 4.3.1.1 加速度计加温方案 |
| 4.3.1.2 I/F转换电路加温方案 |
| 4.3.2 温控系统仿真分析 |
| 4.3.3 温控系统的实现 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 激光惯组在线补偿验证 |
| 5.1 激光惯组温度补偿设计 |
| 5.1.1 激光惯组测温点分布 |
| 5.1.2 铂电阻测温电路 |
| 5.1.3 激光惯组补偿流程 |
| 5.2 惯组温补验证实验及结果分析 |
| 5.3 带温控惯组通电实验及结果分析 |
| 5.4 本章小结 |
| 总结与展望 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 |
| 致谢 |
（2）新型小型化石英振子设计与实现（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 石英晶体振荡器 |
| 1.2 石英晶体振荡器研究现状 |
| 1.2.1 伸缩振动石英晶体振荡器 |
| 1.2.2 弯曲振动石英晶体振荡器 |
| 1.2.3 面切变振动石英晶体振荡器 |
| 1.2.4 厚度切变振动石英晶体振荡器 |
| 1.3 小型化石英振子研究现状 |
| 1.4 论文研究意义、内容及章节安排 |
| 第二章 石英晶体振荡器工作原理 |
| 2.1 石英晶体的基础理论 |
| 2.1.1 石英晶体的介电性质 |
| 2.1.2 石英晶体的弹性性质 |
| 2.1.3 石英晶体的压电性质 |
| 2.2 石英晶体的压电方程 |
| 2.3 石英晶体能陷效应 |
| 2.4 振荡器基本工作原理 |
| 2.5 本章小结 |
| 第三章 新型小型化石英振子设计 |
| 3.1 AT切型矩形石英振子传统设计 |
| 3.1.1 AT切型石英振子振动频率设计 |
| 3.1.2 AT切型石英振子尺寸设计 |
| 3.1.3 AT切型石英振子外形设计 |
| 3.2 新型小型化石英振子结构 |
| 3.3 新型石英振子有限元设计 |
| 3.3.1 有限元法 |
| 3.3.2 构建石英晶体振荡器模型步骤 |
| 3.3.3 仿真结果分析 |
| 3.3.4 凸台高度对石英振子振动影响 |
| 3.3.5 凸台面积对石英振子振动影响 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 新型小型化石英振子制作 |
| 4.1 石英振子晶片传统加工工艺 |
| 4.2 QMEMS加工工艺 |
| 4.3 新型石英振子晶片加工工艺 |
| 4.3.1 石英振子晶片尺寸加工 |
| 4.3.1.1 石英腐蚀温度对石英振子影响 |
| 4.3.1.2 石英腐蚀浓度对石英振子影响 |
| 4.3.2 石英振子晶片外形加工 |
| 4.3.3 石英振子晶片频率调整 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 新型小型化石英振子测试 |
| 5.1 石英振荡器封装 |
| 5.2 新型石英振荡器成品测试 |
| 5.3 参数分析 |
| 5.4 本章小结 |
| 第六章 结论 |
| 6.1 本文的主要贡献 |
| 6.2 下一步工作的展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 攻硕期间取得的研究成果 |
（3）石英挠性加速度计抗冲击性能与温度特性的研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题的目的和意义 |
| 1.2 加速度计的分类及发展概括 |
| 1.3 石英挠性加速度计国内外的研究现状 |
| 1.3.1 国内研究现状 |
| 1.3.2 国外研究现状 |
| 1.4 本文研究内容和结构安排 |
| 1.5 本章小结 |
| 第2章 石英挠性加速度计的结构和工作原理 |
| 2.1 石英挠性加速度计的结构 |
| 2.2 石英挠性加速度计的工作原理 |
| 2.3 偏值与标度因数的稳定性分析 |
| 2.3.1 偏值的稳定性分析 |
| 2.3.2 标度因数的稳定性分析 |
| 2.4 本章小结 |
| 第3章 石英挠性加速度计的抗冲击性能分析 |
| 3.1 摆组件主要技术参数分析 |
| 3.1.1 刚度计算 |
| 3.1.2 机械灵敏度计算 |
| 3.1.3 固有频率计算 |
| 3.1.4 计算结果 |
| 3.2 摆组件模态分析 |
| 3.2.1 摆组件模态分析基本原理 |
| 3.2.2 摆组件模态分析结果 |
| 3.3 摆组件瞬态动力学分析 |
| 3.3.1 摆组件瞬态动力学分析基本原理 |
| 3.3.2 摆组件瞬态动力学分析结果 |
| 3.4 提高石英挠性加速度计抗冲击性能的措施 |
| 3.4.1 材料改进 |
| 3.4.2 结构改进 |
| 3.5 本章小结 |
| 第4章 温度误差建模与补偿技术研究 |
| 4.1 温度误差分析 |
| 4.2 石英挠性加速度计温度试验平台和方法 |
| 4.2.1 石英挠性加速度计温度试验平台 |
| 4.2.2 石英挠性加速度计温度试验方法 |
| 4.3 石英挠性加速度计静态温度误差模型辨识 |
| 4.4 试验结果分析 |
| 4.5 本章小结 |
| 第5章 力矩器中补偿环的优化设计 |
| 5.1 力矩器的结构组成 |
| 5.2 补偿环的工作原理 |
| 5.3 力矩器气隙处静磁场有限元仿真 |
| 5.3.1 静态温度仿真 |
| 5.3.2 动态温度仿真 |
| 5.4 工作气隙磁场温度稳定性试验 |
| 5.4.1 恒温试验 |
| 5.4.2 变温试验 |
| 5.5 本章小结 |
| 第6章 总结和展望 |
| 6.1 总结 |
| 6.2 展望 |
| 参考文献 |
| 发表论文和参加科研说明 |
| 致谢 |
（4）铝合金薄板激光切割工艺研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 激光的产生 |
| 1.1.1 激光产生的背景 |
| 1.1.2 激光产生的原理 |
| 1.2 激光加工中激光束参数 |
| 1.2.1 激光模式 |
| 1.2.2 激光输出功率 |
| 1.2.3 激光偏振 |
| 1.3 激光切割技术概述 |
| 1.3.1 激光切割的特点 |
| 1.3.2 激光切割技术的应用、发展现状及趋势 |
| 1.4 课题的提出和研究意义 |
| 1.4.1 选题背景 |
| 1.4.2 研究意义 |
| 1.5 研究内容 |
| 1.5.1 主要内容 |
| 1.5.2 技术路线 |
| 第2章 激光切割原理 |
| 2.1 激光切割的机理、分类及能量分析 |
| 2.1.1 激光切割机理 |
| 2.1.2 激光切割的分类 |
| 2.1.3 激光切割过程的能量分析 |
| 2.2 激光切割工艺分析 |
| 2.2.1 打孔点位置和穿孔技术 |
| 2.2.2 辅助切割路径 |
| 2.2.3 激光切割优化排样及其路径选取 |
| 2.3 激光切割质量的评价指标 |
| 2.3.1 切缝宽度 |
| 2.3.2 切割面粗糙度 |
| 2.3.3 挂渣 |
| 2.3.4 切口热影响区 |
| 2.3.5 切割面倾角 |
| 2.4 激光切割质量的影响因素 |
| 2.4.1 激光功率 |
| 2.4.2 切割速度 |
| 2.4.3 辅助气体种类及其压力 |
| 2.4.4 焦点位置 |
| 2.5 小结 |
| 第3章 试验分析因素影响规律 |
| 3.1 实验装置 |
| 3.1.1 ByJin3015基本组成 |
| 3.1.2 ByJin3015技术参数 |
| 3.1.3 ByJin3015激光切割机的编辑特性 |
| 3.2 试验方案 |
| 3.3 最大切割速度的计算 |
| 3.4 激光切割质量单因素影响规律 |
| 3.4.1 激光功率对切割质量的影响 |
| 3.4.2 切割速度对切割质量的影响 |
| 3.4.3 氮气气压对切割质量的影响 |
| 3.5 激光切割质量的正交试验研究 |
| 3.5.1 三因素正交试验设计 |
| 3.5.2 切割质量试验结果的极差分析 |
| 3.5.3 方差分析 |
| 3.5.4 切割质量多指标优化 |
| 3.5.5 一次回归正交设计 |
| 3.6 小结 |
| 第4章 结合遗传算法的人工神经网络试验分析 |
| 4.1 基于正交试验建立人工神经网络 |
| 4.1.1 人工神经网络概述 |
| 4.1.2 BP神经网络数学模型 |
| 4.1.3 建立BP神经网络 |
| 4.1.4 BP神经网络模型验证 |
| 4.2 遗传算法优化 |
| 4.2.1 遗传算法概述 |
| 4.2.2 遗传算法模型建立 |
| 4.3 小结 |
| 第5章 遗传算法深度优化及试验验证 |
| 5.1 遗传算法深度优化 |
| 5.2 试验验证 |
| 5.3 小结 |
| 结论及展望 |
| 主要结论 |
| 展望 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 |
| 致谢 |
（5）石英摆片激光切割技术研究（论文提纲范文）
| 0 引言 |
| 1 激光切割机理和参数分析 |
| 1.1 激光光源 |
| 1.2 运动速度 |
| 1.3 光斑半径 |
| 1.4 光束模式 |
| 2 石英摆片激光切割试验 |
| 2.1 摆片激光切割系统配置 |
| 2.2 摆片激光切割的质量控制 |
| 2.2.1 切缝宽度、边缘斜边 |
| 2.2.2 切缝直线度 |
| 2.2.3 行程误差 |
| 2.2.4 熔渣 |
| 2.2.5 程序设计 |
| 2.3 摆片激光切割后处理 |
| 3 结论 |
（6）石英摆片设计与化学腐蚀加工技术（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题背景 |
| 1.2 国内外研究和发展现状 |
| 1.2.1 石英摆片加工技术国内外现状 |
| 1.2.2 石英摆片检测技术国内外现状 |
| 1.3 论文的主要研究内容及意义 |
| 1.3.1 论文的主要内容 |
| 1.3.2 课题研究的意义 |
| 第2章 石英挠性加速度计 |
| 2.1 石英挠性加速度计概述 |
| 2.1.1 结构组成 |
| 2.1.2 工作原理 |
| 2.1.3 石英挠性加速度计的优点 |
| 2.2 石英挠性加速度计动态力学方程 |
| 2.3 石英挠性加速度计静态数学模型 |
| 2.4 石英摆片 |
| 2.4.1 石英材料 |
| 2.4.2 石英摆片的设计 |
| 2.4.3 石英摆片的载荷计算 |
| 2.5 本章小结 |
| 第3章 石英摆片有限元分析 |
| 3.1 有限元分析方法 |
| 3.2 静力分析和模态分析 |
| 3.2.1 静力分析 |
| 3.2.2 模态分析 |
| 3.3 石英摆片静力分析 |
| 3.3.1 模型建立和网格划分 |
| 3.3.2 施加载荷 |
| 3.3.3 挠性梁厚度对石英摆片应力场和变形的影响 |
| 3.4 石英摆片模态分析 |
| 3.5 本章小结 |
| 第4章 石英摆片化学腐蚀方法 |
| 4.1 石英摆片化学腐蚀原理 |
| 4.1.1 氢氟酸溶液特征 |
| 4.1.2 石英材料的表面特征 |
| 4.1.3 反应机理与分子模型 |
| 4.2 化学腐蚀加工试验过程 |
| 4.2.1 腐蚀液的选择 |
| 4.2.2 保护层及设备的选择 |
| 4.2.3 化学腐蚀加工的过程控制 |
| 4.2.4 石英摆片挠性梁厚度的测量方法 |
| 4.3 化学腐蚀加工试验结果分析 |
| 4.4 本章小结 |
| 第5章 石英摆片下垂量检测技术 |
| 5.1 石英摆片下垂量 |
| 5.1.1 石英摆片的下垂量的概念 |
| 5.1.2 石英摆片下垂量的计算 |
| 5.2 下垂量检测原理及方法 |
| 5.2.1 计算机视觉检测技术 |
| 5.2.2 下垂量检测系统总体设计 |
| 5.3 下垂量检测装置及结构 |
| 5.3.1 检测装置原理 |
| 5.3.2 检测装置平台实物 |
| 5.4 下垂量检测实验与结果分析 |
| 5.5 本章小结 |
| 第6章 结论与展望 |
| 6.1 回顾与总结 |
| 6.2 今后展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 附录 |
（7）激光刻蚀抛光石英玻璃工艺研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 几种常用的石英加工方法比较研究 |
| 1.3 激光加工技术在石英刻蚀中的应用 |
| 1.4 激光石英加工国内外研究进展 |
| 1.5 课题来源、意义、内容、目标、创新点以及技术路线 |
| 2 实验设备、材料性质和刻蚀要求 |
| 2.1 实验设备 |
| 2.2 实验用紫外激光器平均功率测试 |
| 2.3 实验材料性质 |
| 2.4 实验材料的清洗和测量 |
| 2.5 激光刻蚀要求 |
| 2.6 本章小结 |
| 3 紫外激光直接刻蚀石英玻璃实验研究 |
| 3.1 实验平台结构与实验方法 |
| 3.2 紫外激光直接刻蚀石英玻璃阈值研究实验 |
| 3.3 紫外激光刻蚀参数对直接刻蚀石英玻璃尺寸和质量的影响 |
| 3.4 紫外激光直接切割薄石英片实验 |
| 3.5 实验机理分析 |
| 3.6 紫外激光直接刻蚀石英玻璃应用 |
| 3.7 本章小结 |
| 4 激光诱导等离子体石英玻璃刻蚀实验研究 |
| 4.1 实验平台结构与实验方法 |
| 4.2 刻蚀参数对石英玻璃刻蚀尺寸和质量的影响规律 |
| 4.3 实验机理分析 |
| 4.4 激光诱导等离子体石英玻璃刻蚀应用 |
| 4.5 本章小结 |
| 5 激光背部湿刻法实验研究 |
| 5.1 实验平台结构与实验方法 |
| 5.2 激光背部湿刻法实验结果 |
| 5.3 实验机理分析 |
| 5.4 本章小结 |
| 6 激光抛光石英玻璃刻蚀面研究 |
| 6.1 实验平台结构和实验方法 |
| 6.2 激光石英玻璃刻蚀面抛光实验 |
| 6.3 实验机理分析 |
| 6.4 激光石英玻璃刻蚀面抛光应用 |
| 6.5 本章小结 |
| 7 主要结论和建议 |
| 7.1 主要结论 |
| 7.2 今后工作的建议 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
（8）石英挠性加速度计关键技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 加速度传感器作用 |
| 1.2 加速度传感器分类 |
| 1.3 石英挠性加速度计国内外研究状况 |
| 1.3.1 国外研究状况 |
| 1.3.2 国内研究状况 |
| 1.4 课题研究主要内容、研究意义及创新点 |
| 1.4.1 课题研究主要内容 |
| 1.4.2 课题研究意义 |
| 1.4.3 课题研究创新点 |
| 第2章 石英挠性加速度计 |
| 2.1 石英挠性加速度计结构及工作原理 |
| 2.1.1 石英挠性加速度计结构 |
| 2.1.2 石英挠性加速度计工作原理 |
| 2.2 石英挠性加速度计动态力学方程 |
| 2.3 石英挠性加速度计静态数学模型 |
| 2.4 电容式传感器工作原理及主要特性 |
| 2.4.1 工作原理 |
| 2.4.2 主要特性 |
| 2.5 差动电容检测器 |
| 2.6 外界影响因素 |
| 2.6.1 温度误差 |
| 2.6.2 屏蔽问题 |
| 2.7 本章小结 |
| 第3章 石英摆片组件 |
| 3.1 石英摆片组件结构 |
| 3.2 石英摆片组件载荷计算 |
| 3.3 石英摆片组件应力分析 |
| 3.3.1 有限元模型建立 |
| 3.3.2 网格划分 |
| 3.3.3 施加约束和求解 |
| 3.4 影响摆片组件强度因素 |
| 3.4.1 挠性梁结构和尺寸 |
| 3.4.2 摆片结构及材料 |
| 3.5 石英摆片结构及加工 |
| 3.5.1 石英摆片结构 |
| 3.5.2 石英摆片加工 |
| 3.6 本章小结 |
| 第4章 伺服控制系统 |
| 4.1 伺服控制系统结构组成 |
| 4.1.1 系统结构与信号流程 |
| 4.1.2 混合集成伺服电路HB309 |
| 4.2 力矩器结构形式 |
| 4.3 工作气隙设计 |
| 4.4 磁钢设计 |
| 4.4.1 永磁体材料选择 |
| 4.4.2 永磁体工作点 |
| 4.4.3 永磁体稳定性 |
| 4.5 线圈组件设计 |
| 4.6 磁路计算 |
| 4.6.1 磁场分割 |
| 4.6.2 外部漏磁磁导G_1计算 |
| 4.6.3 外部漏磁磁导G_2计算 |
| 4.6.4 工作气隙磁导G_3计算 |
| 4.6.5 内部漏磁磁导G_4计算 |
| 4.6.6 漏磁导G_5计算 |
| 4.6.7 漏磁导G_6计算 |
| 4.6.8 工作气隙磁感应强度 |
| 4.6.9 线圈受力大小 |
| 4.7 本章小结 |
| 第5章 磁路有限元分析 |
| 5.1 ANSYS 电磁场分析 |
| 5.2 力矩器磁场静态分析 |
| 5.2.1 建立有限元模型 |
| 5.2.2 网格划分 |
| 5.2.3 施加边界条件和载荷 |
| 5.2.4 求解结果 |
| 5.3 ANSYS 源程序 |
| 5.4 本章小结 |
| 第6章 结论与展望 |
| 6.1 本文结论 |
| 6.2 今后展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 附录 |
（9）微机械石英陀螺敏感元件的设计与制造研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 1 绪论 |
| 1.1 MEMS 概述 |
| 1.2 微惯性技术及微机械石英陀螺的发展 |
| 1.3 微机械石英陀螺设计方法 |
| 1.4 课题的来源、目的、意义及论文结构 |
| 2 微机械石英陀螺的研究基础 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 石英材料的物理性能 |
| 2.3 微机械石英陀螺的动力学基础 |
| 2.4 本章小结 |
| 3 基于公理设计理论的微机械石英陀螺的设计 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 公理设计理论 |
| 3.3 柯氏振动陀螺的公理设计 |
| 3.4 微机械石英陀螺中的振动敏感元件的分析与创新 |
| 3.5 本章小结 |
| 4 微机械梳齿石英陀螺有限元分析及集总参数模型研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 微机械梳齿石英陀螺的模态分析 |
| 4.3 微机械梳齿石英陀螺的集总模型研究 |
| 4.4 本章小结 |
| 5 微机械石英陀螺相关电路研究 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 驱动信号的实现 |
| 5.3 感测信号的检测 |
| 5.4 本章小结 |
| 6 微机械石英陀螺加工制造 |
| 6.1 引言 |
| 6.2 石英陀螺的基本制作方法 |
| 6.3 微机械梳齿石英陀螺中的石英基片的超声加工 |
| 6.4 本章小结 |
| 7 MEMS 用加载台研制及微机械梳齿石英陀螺振动模式研究 |
| 7.1 引言 |
| 7.2 MEMS 动态特性频闪干涉视觉三维测量技术及系统 |
| 7.3 基础振动激励及多载荷加载台 |
| 7.4 微机械梳齿石英陀螺的振动模式计算与测试 |
| 7.5 本章小结 |
| 8 全文总结与展望 |
| 8.1 全文总结 |
| 8.2 展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的论文目录 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请的专利 |
（10）半球陀螺谐振子成型工艺研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 半球陀螺简介 |
| 1.2 半球陀螺工作原理 |
| 1.3 半球陀螺特点 |
| 1.4 研究意义及任务 |
| 第二章 谐振子成型工艺 |
| 2.1 谐振子材料 |
| 2.2 谐振子成型工艺 |
| 第三章 研磨工艺 |
| 3.1 研磨加工影响因素 |
| 3.2 谐振子加工受力及相对速度分析 |
| 3.3 磨具设计 |
| 3.4 冷却液选取 |
| 3.5 夹具设计研究 |
| 3.6 磨谐振子芯轴 |
| 3.7 谐振子研磨余量讨论 |
| 第四章 谐振子镀膜工艺 |
| 4.1 镀膜工艺影响 |
| 4.2 振子镀膜技术研究 |
| 4.3 溅射材料研究 |
| 第五章 振子电极切割 |
| 5.1 激光切割技术 |
| 5.2 激光切割数学模型 |
| 5.3 切缝宽度研究 |
| 5.4 切向断裂研究 |
| 第六章 结论 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
四、激光切割石英摆片的若干问题研究（论文参考文献）
- [1]激光陀螺惯性测量系统温度补偿技术研究[D]. 陶彧敏. 中国航天科技集团公司第一研究院, 2017(02)
- [2]新型小型化石英振子设计与实现[D]. 陆旺. 电子科技大学, 2017(02)
- [3]石英挠性加速度计抗冲击性能与温度特性的研究[D]. 葛颂. 天津大学, 2017(06)
- [4]铝合金薄板激光切割工艺研究[D]. 张晖. 陕西理工学院, 2016(08)
- [5]石英摆片激光切割技术研究[J]. 秦淑斌,袁枫,江安然. 导航定位与授时, 2015(03)
- [6]石英摆片设计与化学腐蚀加工技术[D]. 王家鹏. 杭州电子科技大学, 2015(10)
- [7]激光刻蚀抛光石英玻璃工艺研究[D]. 王汕. 华中科技大学, 2012(S2)
- [8]石英挠性加速度计关键技术研究[D]. 李安. 杭州电子科技大学, 2011(09)
- [9]微机械石英陀螺敏感元件的设计与制造研究[D]. 施阳和. 华中科技大学, 2008(12)
- [10]半球陀螺谐振子成型工艺研究[D]. 武士轻. 长春理工大学, 2008(02)